直接比對法質譜計校準裝置如圖1所示。校準裝置通過一個閥控制引入的氣體流量, 這種技術不需要知道氣體流量, 校準裝置包括被校質譜計和參考標準規, 參考標準規推薦采用磁懸浮轉子規(SRG)和電離規(IG)。

        磁懸浮轉子規和質譜計的測量范圍都受到限制,但它們有足夠的重疊范圍,因此是一種較好的校準方法。兩種參考標準規都是全壓力規, 且靈敏度都與氣體種類有關, 因此, 只能用單一氣體進行校準。質譜計和參考標準規應正確安裝,以保證壓力相同。

1. 分壓力質譜計　2. 校準室　3. 微調閥　4. 參考標準規　5. 氣源　6, 10. 隔斷閥　7, 9. 機械泵　8, 11. 熱傳導規　12. 分子泵　13. 放氣閥

圖1　直接比對法校準裝置原理圖

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