靜態膨脹校準低真空計方法

2020-05-06 真空技術網 真空技術網整理

　　1910年克努曾最早提出靜態膨脹法壓力校準系統。靜態膨脹校準低真空計時，因為容器壁吸、放氣不顯著，校準精度較高。在高真空校準時，由于器壁吸、放氣顯著，必須設法減小其影響。此方法制作簡單、操作方便、運算迅速、檢定效率高，且排除了汞蒸氣對人的危害。

　　膨脹法校準是基于波意耳定律，即在恒定的溫度下，一定質量的氣體的壓力與體積之積為一常數。

單級膨脹系統工作示意圖

圖29：單級膨脹系統工作示意圖

　　單級膨脹系統工作示意圖見圖29所示。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準氣體，由標準真空計G2測量。再將校準室抽氣至低于校準壓力下限兩至三個數量級。這樣可略去校準室本底壓力對校準的影響。

　　每操作一次傳遞閥K4，就將由氣源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準室。第一次膨脹后，校準室壓力見式27。

　　第n次膨脹之后，校準室的壓力pn見式28。

　　此法計算簡單，如校準高真空可用雙級膨脹。

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