質譜計的種類很多，可根據質量分析系統的工作原理來表征和命名。如：磁偏轉質譜計、回旋質譜計、飛行時間質譜計、射頻質譜計、諧振感應質譜計和四極質譜計等。

　　質譜計的主要性能參數如下：

　　1、質量范圍：在滿足一定分辨能力的前提下，質譜計所能分析的質量數范圍叫做該質譜計的質量范圍。

　　2、分辨能力和分辨本領：儀器的絕對分辨能力是儀器對給定質量M的離子的分離能力的一種量度，由峰寬△M表示。峰寬是在一定峰高處測量。

　　儀器的分辨本領是質量與絕對分辨能力之比，即M/△M。圖25示出了分辨本領的兩種定義(△M/0.1h和△M/0.5h)。

圖25：質譜計分辨本領的兩種定義

　　3、靈敏度：質譜計輸出離子流Ii與該氣體在離子源中的分壓力Ppi,之比稱為靈敏度Si，即

Si=Ii/ppi (15)

　　4、最小可檢分壓力pPmin：在所分析的氣體樣品中，質譜計可以檢測出的氣體i的最小分壓力稱為最小可檢分壓力pPmin。

　　5、分壓比靈敏度γmin在一定背景的總壓力Ptot中，質譜計能檢測出某種氣體的最低分壓力Pmin的能力，稱為分壓比靈敏度γ，即

γmin=pPmin/Ptot (16)

　　6、最高線性工作壓力：質譜計的工作壓力通常指總壓力。

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