真空技術的廣泛應用促使著真空標準的研究和發展。為了保證真空測量的可靠性,對于各種真空計示值都需要定期進行校準,以保證其測量結果的準確一致。

       我們真空校準實驗室是中國工程物理研究院專業計量標準實驗室, 1996年首次通過國防科工委考核認可, 2002年4月按GJB2725—96通過了總裝備部軍事計量校準實驗室的認可,符合國家二等真空標準,可以從10- 4Pa～10-5Pa范圍內進行真空計的校準,承擔著中國工程物理研究院真空計的校準和測試工作,年工作量約為250臺次。

       真空校準系統是依據校準真空規的原理,將一支或幾支參考規和若干支被校規,一同接到一個壓力可調的校準容器上,進行比對校準的方法。它采用的原理基本屬于以下三種:動態比對法、靜態比對法、靜態膨脹法。我們使用真空校準系統校準真空計的步驟主要是:

(1)調節標準室壓強,按照由低壓強到高壓強的順序,調節進氣閥獲得穩定的校準壓強。

(2)校準點的選擇:在被檢計測量范圍內,一般每個量程選取三個校準點。如遇非線性較大時,需要選取較詳細的校準點。

(3)記錄每個壓強校準點的標準示值及比對的被檢真空計示值。

(4)處理數據,出具校準證書。真空校準系統的設計方法,有如下六點要求:

(1)校準室的體積至少應該是接在系統上的所有規管總體積的20倍;

(2)校準室的形狀應使它的表面積與體積之比盡可能小。故選用球型容器最理想,如選用圓筒型容器,則要求筒長與筒徑之比不大于4;

(3)規管連接管的形狀要保證使氣體分子進入規的工作區以前至少與管壁碰撞一次;

(4)安裝在校準室上的所有規管之間的壓差和溫差不應導致引起明顯的測量誤差;

(5)規管連接管的流導至少應為規管吸附速率或解吸速率的100倍;

(6)系統的極限壓力應低于最低校準壓力的2%。