為滿足航天器熱試驗(yàn)常用真空計(jì)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)需要，研制了多功能真空校準(zhǔn)裝置。該裝置可用于進(jìn)行熱偶真空計(jì)、壓阻規(guī)、電容薄膜真空規(guī)、潘寧規(guī)、熱陰極電離規(guī)等真空測(cè)量傳感器的校準(zhǔn)，同時(shí)也可以用于滲透型真空漏孔的校準(zhǔn)。裝置選用靜態(tài)比對(duì)法、動(dòng)態(tài)比對(duì)法、質(zhì)譜比對(duì)法設(shè)計(jì)建成，真空校準(zhǔn)范圍為1.33×10⁵ Pa～1×10^-4 Pa，真空漏孔校準(zhǔn)范圍為5×10^-5～5×10^-9 Pa·m³/s，裝置智能化水平高，操作簡(jiǎn)便，適合真空規(guī)管的批量校準(zhǔn)。

　　隨著我國(guó)空間科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空測(cè)量技術(shù)也得到長(zhǎng)足進(jìn)步，已廣泛應(yīng)用在航空航天、電氣電子、石油化工等行業(yè)。特別是我國(guó)載人飛船、登月工程、火星探測(cè)等一系列國(guó)防新領(lǐng)域的飛速發(fā)展，對(duì)真空測(cè)量提出了更高的要求，相應(yīng)的高精度、高可靠性的真空計(jì)量校準(zhǔn)需求也應(yīng)運(yùn)而生。

　　傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室真空校準(zhǔn)裝置大多系統(tǒng)設(shè)計(jì)復(fù)雜，研制費(fèi)用高，校準(zhǔn)耗時(shí)長(zhǎng)，無(wú)法滿足航天器研制任務(wù)的需要。本文研制了一套多功能真空校準(zhǔn)裝置，該裝置選用靜態(tài)比對(duì)法、動(dòng)態(tài)比對(duì)法以及質(zhì)譜比對(duì)法的校準(zhǔn)原理研制而成，通過(guò)設(shè)計(jì)不同量程的電容薄膜規(guī)組成標(biāo)準(zhǔn)規(guī)組的方法，解決了單一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)在滿量程范圍內(nèi)精度偏差的問(wèn)題。裝置具有操作簡(jiǎn)易，自動(dòng)化程度高，可批量校準(zhǔn)等特點(diǎn)，裝置校準(zhǔn)范圍既覆蓋了航天領(lǐng)域主要真空校準(zhǔn)需求，又具有研制成本低，綜合性價(jià)比高的優(yōu)點(diǎn)。

　　1、校準(zhǔn)裝置設(shè)計(jì)組成

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　　2、多功能真空校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)原理方法

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　　3、多功能真空校準(zhǔn)裝置的主要性能指標(biāo)

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　　4、結(jié)束語(yǔ)

　　經(jīng)實(shí)際測(cè)試，本裝置各項(xiàng)性能參數(shù)優(yōu)于設(shè)計(jì)指標(biāo)，其中高真空校準(zhǔn)下游室的極限真空度比設(shè)計(jì)指標(biāo)提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，真空校準(zhǔn)范圍也有一定的拓寬，選用的無(wú)油多級(jí)真空抽氣系統(tǒng)解決了裝置長(zhǎng)時(shí)間工作可凝物污染的問(wèn)題。多功能真空校準(zhǔn)裝置因其簡(jiǎn)便易于操作，可大批量校準(zhǔn)等特點(diǎn)，在提高航天設(shè)備可靠性和產(chǎn)品質(zhì)量方面起到了很好的促進(jìn)作用，為我國(guó)國(guó)防科學(xué)技術(shù)的發(fā)展提供了基礎(chǔ)設(shè)施保障。