1、極限真空度

　　高真空校準室極限真空度9.3×10^-8 Pa，下游室極限真空度1.1×10^-8 Pa，低真空校準穩(wěn)壓室極限真空度4.2×10^-7 Pa。

2、校準真空室動態(tài)真空度穩(wěn)定性能

　　根據(jù)相關(guān)國家標準對本裝置校準范圍內(nèi)的校準室在進行動態(tài)比對校準時的真空度穩(wěn)定性能進行檢測，從133kPa～9.5×10^-5 Pa 范圍內(nèi)選擇20 個壓力點，每個檢測點停留5 分鐘，測試結(jié)果表明在133kPa～9.5×10^-2 Pa 范圍內(nèi)，穩(wěn)定度可控制在2%以內(nèi)， 在9×10^-2 Pa～9.5×10^-5 Pa 范圍內(nèi)，穩(wěn)定度可控制在1%以內(nèi)。

3、系統(tǒng)不確定度分析

　　綜合考慮GP370 離子規(guī)的不確定度指標和校準裝置的固有特性，系統(tǒng)裝置標準不確定度為4.2%，數(shù)據(jù)處理引入的不確定度為0.5%，整個裝置的合成不確定度為4.3%， 擴展不確定度為8.6%。