①用擴散泵和鈦泵并聯為主泵，擴散泵單獨串聯前級機械泵的真空系統。圖17所示，稱為鈉燈超高真空封接爐的系統。可以達到極限真空度為1.33×10^-6Pa。

圖17：鈉燈封接用的超高真空系統圖

    ②由擴散泵串聯擴散泵(中間泵)，再串聯機械泵的真空系統。如圖18，是一個超高真空系統和設備的結構圖。主泵是一個水銀擴散泵，泵頂有冷卻擋板和液氮冷阱，中間泵也是水銀擴散泵。在中間泵和前級機械泵之間設有油蒸氣捕集器。并設有各種單獨的加熱器，烘烤真空室和主泵頂部及捕集器。該系統的特點是能獲得超高真空，并能穩定工作。

圖18：超高真空系統圖

    ③主泵為分子泵串聯機械泵的真空系統，該種超高真空系統，由于機械泵有油存在，需要在機械泵入口管道上設置捕集器冷凝油蒸氣。如果分子泵串聯分子篩吸附泵(前級泵)，則構成了無油超高真空系統，該系統比較清潔。

    ④用鈦泵或濺射離子泵做為主泵。并聯或串聯分子篩吸附泵(做為預真空泵)，構成無油超高真空系統．如圖19所示。也可以用鈦泵聯接預真空機械泵，但此時機械泵的入口管道上要加油蒸氣捕集器。

    ⑤用低溫泵做為主泵，串聯或并聯分子篩吸附泵(預真空泵)，構成無油超高真空系統。同樣也可以用機械泵做為預真空泵，在機械泵入口管道上設置油蒸氣捕集器。