幾種典型的高真空系統圖

2008-10-13 鬼馬 真空技術網整理

    這種系統應用也比較廣泛。它的工作壓強范圍在6.67×10-2～1.33×10-3Pa。如鍍膜機、電子轟擊爐和部分電阻爐等都采用高真空系統。

    ①擴散泵串聯機械泵的真空系統。該系統一般用在工作時放氣量較小的應用設備上。系統結構簡單，工作可靠。成本低。缺點是系統起動慢，預抽氣時間長。擴散泵油蒸氣容易返流到真空室中去。

    ②擴散泵串聯油增壓泵，再串聯機械泵的真空系統，該系統起動慢。由于有中間油增壓泵存在，故預抽氣時間短些。

    ③擴散泵串聯羅茨泵，再串聯機械泵的真空系統，它起動慢，但預抽氣時間短(因為中間有羅茨泵)。圖16是由三個泵串聯組成的高真空系統。

采用擴散泵的三個泵串聯的高真空系統圖

圖16：采用擴散泵的三個泵串聯的高真空系統圖