真空系統(tǒng)的結構是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關鍵，真空系統(tǒng)的結構合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

　　1、盡可能地避免出現小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。

　　2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。

　　3、認真設計真空室內各種連接件的結構，使氣路暢通，避免氣路堵塞。

　　4、打磨拋光真空系統(tǒng)內表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。

　　5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。

　　密封形式的選擇

　　密封形式可根據所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式。

　　密封部位進行水冷后，其溫度在80℃左右，個別處溫度可達100℃以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。

　　用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。