氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器.其質譜原理如圖所示。

氦質譜檢漏儀的質譜學原理

　　燈絲發射出來的電子在電離室內來回的振蕩，與電離室內氣體和經被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，軌道半徑

　　式中R ——離于偏轉軌道半徑(cm)

　　B ——磁場強度(T)

　　——離子的質(量)/(電)荷比(正整數)

　　U ——離子加速電壓(V)

　　由上式可知，當R、B為定值時，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。