分別推導(dǎo)和分析了環(huán)境大氣氦分壓對(duì)壓氦法的影響，地球干潔大氣氦分壓對(duì)預(yù)充氦法和預(yù)充氦密封器件壓氦法復(fù)檢的影響。證明對(duì)于壓氦法，不需要考慮地球干潔大氣氦分壓的影響。但是如果候檢室環(huán)境大氣氦分壓顯著升高，對(duì)于內(nèi)腔有效容積大，且等效標(biāo)準(zhǔn)漏率小的密封器件，會(huì)加大測(cè)量漏率值，所以壓氦后，被檢器件應(yīng)盡快離開壓氦設(shè)備所在的房間。對(duì)于預(yù)充氦法，地球干潔大氣氦分壓會(huì)使測(cè)量漏率通過(guò)極大值后出現(xiàn)極小值，且當(dāng)候檢時(shí)間與內(nèi)腔有效容積之比大于100 h/cm³ 時(shí)，極小值點(diǎn)的氣流仍處于分子流狀態(tài)，不能靠粗檢鑒別，所以需壓氦法復(fù)檢加粗檢，才能防止漏檢。另外，地球干潔大氣氦分壓會(huì)使預(yù)充氦法候檢時(shí)間的第一特征點(diǎn)變大，從而擴(kuò)大了需壓氦法復(fù)檢加粗檢的范圍，但第二特征點(diǎn)不變，也不影響壓氦法復(fù)檢加粗檢的結(jié)果。

　　密封器件的氦質(zhì)譜細(xì)檢漏技術(shù)細(xì)分為壓氦法(即背壓法) 和預(yù)充氦法兩種。D A Howl 等首先給出了壓氦法測(cè)量漏率Re 與等效標(biāo)準(zhǔn)漏率L 的關(guān)系，并指出該關(guān)系對(duì)應(yīng)的氣流狀態(tài)為分子流，文獻(xiàn)指出將壓氦法測(cè)量漏率與等效標(biāo)準(zhǔn)漏率關(guān)系式中第一個(gè)括號(hào)刪掉，就得到預(yù)充氦法的相應(yīng)關(guān)系式。無(wú)論是壓氦法還是預(yù)充氦法，在公式推導(dǎo)中都假定候檢期間環(huán)境大氣中不存在氦分壓。然而，實(shí)際上地球干潔大氣中含有少量氦氣；壓氦時(shí)通常會(huì)產(chǎn)生檢漏用氦氣對(duì)環(huán)境大氣的污染，使環(huán)境氦分壓超過(guò)地球干潔大氣中的氦分壓。因此，推導(dǎo)和分析環(huán)境大氣中氦分壓對(duì)壓氦法和預(yù)充氦法的影響是十分必要的。

1、環(huán)境氦分壓對(duì)壓氦法的影響

　　為了得到環(huán)境大氣中氦分壓對(duì)壓氦法的影響，有必要從真空系統(tǒng)的抽氣方程出發(fā)，按壓氦法的步驟，重新推導(dǎo)Re 與L 的關(guān)系。

(1) 壓氦結(jié)束后密封器件內(nèi)部的氦分壓

　　分子流下，可以只考慮所關(guān)心氣體的分壓力。所以，對(duì)于腔內(nèi)原本不含氦氣的密封器件，不論腔內(nèi)是否含有其他氣體，壓氦結(jié)束后密封器件內(nèi)部的氦分壓為

　　式中，pt1 為壓氦結(jié)束后密封器件內(nèi)部的氦分壓，pe為壓氦期間密封器件外部( 即壓氦箱內(nèi)) 的氦氣絕對(duì)壓力，UHe為密封器件漏孔對(duì)氦氣的的流導(dǎo)，V 為密封器件內(nèi)腔的有效容積，t 1為壓氦時(shí)間。p t1不受環(huán)境大氣中氦分壓的影響。

(2) 檢漏前密封器件內(nèi)腔的氦分壓

　　顧及到候檢環(huán)境大氣中氦分壓的影響時(shí)，候檢期間密封器件漏孔的漏率為

　　式中，qHe為候檢期間密封器件漏孔對(duì)氦氣的漏率，pHe為候檢期間密封器件內(nèi)腔的氦分壓，p He，0為候檢環(huán)境大氣中的氦分壓。

　　將式(2) 代入真空系統(tǒng)的抽氣方程，得到

　　式中，pt2e為壓氦法檢漏前密封器件內(nèi)腔的氦分壓，t 2e為壓氦法的候檢時(shí)間。

(3) 檢漏時(shí)氦氣經(jīng)過(guò)漏孔的測(cè)量漏率

　　由于檢漏時(shí)密封器件處于真空環(huán)境中，分子流下，氦氣經(jīng)過(guò)漏孔的測(cè)量漏率為

結(jié)論

　　(1) 對(duì)于壓氦法，不需要考慮地球干潔大氣氦分壓的影響。但是如果候檢環(huán)境大氣氦分壓顯著升高，對(duì)于內(nèi)腔有效容積大，且等效標(biāo)準(zhǔn)漏率小的密封器件，會(huì)加大測(cè)量漏率值，所以壓氦結(jié)束后，被檢器件應(yīng)盡快離開壓氦設(shè)備所在的房間。

　　(2) 對(duì)于預(yù)充氦法，地球干潔大氣氦分壓會(huì)使測(cè)量漏率通過(guò)極大值后出現(xiàn)極小值，且當(dāng)候檢時(shí)間與內(nèi)腔有效容積之比大于100 h/ cm³ 時(shí)，極小值點(diǎn)仍處于分子流范圍，不能靠粗檢法鑒別，所以需輔以壓氦法復(fù)檢，才能防止漏檢。

　　(3) 地球干潔大氣氦分壓會(huì)使預(yù)充氦法候檢時(shí)間的第一特征點(diǎn)變大，從而擴(kuò)大了需要輔以壓氦法復(fù)檢的范圍，但第二特征點(diǎn)不變，也不影響壓氦法復(fù)檢的結(jié)果。