“新一代靜態膨脹法真空標準裝置”獲國防技術發明二等獎
靜態膨脹法真空標準裝置具有操作簡單、測量不確定度小的優點,經過百年的探索和研究,包括我國在內的多個國家已將該標準作為真空計量基準器具。近年來,隨著我國在航天、高能物理、核聚變、表面科學、微電子器件等領域發展迅速,對超高真空精確校準提出了普遍需求,而傳統靜態膨脹法真空標準裝置的校準下限通常為10-4 Pa到10-5 Pa量級,不能實現對超高真空精確校準需求,需采用新技術、新方法研制新一代靜態膨脹法真空標準裝置。
國防科技工業真空一級計量站經過多年技術攻關,突破了靜態膨脹法真空標準裝置校準下限的延伸、真空容器容積及容積比的精確測量、極小漏孔檢漏、真空材料除氣及出氣率測量等一系列關鍵技術。研制出了新一代靜態膨脹法真空標準裝置,校準下限比目前已報道的國際同類標準裝置的最好水平(10-5 Pa量級)向下延伸了2個數量級,首次達到10-7 Pa量級的超高真空范圍,實現了采用靜態膨脹法對超高真空規的精確校準,解決了百年來困擾校準下限延伸的國際性難題。
建立的新一代靜態膨脹法真空標準裝置進一步完善了我國真空標準的量傳體系,滿足了航空航天、高能加速器、核聚變、表面科學、微電子器件等領域對超高真空校準的需求,已在重離子加速器、同步輻射光源等國家重大工程的建設中得到了應用,并為我國的多個型號研制部門提供了大量準確的校準數據,為產品的安全和可靠性提供了計量保障服務。
研制的新一代靜態膨脹法真空標準裝置2013年獲得國防技術發明二等獎。
研制的新一代靜態膨脹法真空標準裝置
國防技術發明二等獎證書