真空漏孔的校準方法——變容變壓法
美國Martin Marietta Energy System公司避開定容變壓法和恒壓變容法的技術難點,采用變容變壓的方法,對10-1~10-12mol/s范圍內的真空漏孔進行測量,自稱測量誤差為±5%。
圖4示出變容變壓法結構示意圖,圖5給出它的測量過程中的壓力變化曲線圖。測量前,校準室(V和Vu,)抽真空;開始測量時,關閉閥門Y1和Y2;在t1時刻,Vu內壓力上升至P1,可由式(6)得到。關閉閥門Y3,打開閥門Y2;如果等待Vu內壓力再次恢復至P1(t3時刻),則為增加固定體積的恒壓變容法。在此,可以在t2時刻就測量Vu內壓力P2的值,可由式(7)得到。真空漏孔的漏率由式(6),(7)聯立,可以得到式(8)
QL =p1Vu/(RT t1) (6)
QL =P2(Vu+V)/(R T t2) (7)
QL =P1P2V/[RT(p1t2-P2t1)] (8)
這是不很精確的,卻是效率較高的實用方法。用它校準真空漏孔時,不必準確測量較難測量的Vu,也不必等待較長的時間,但是式(6)和式(7)都是在無吸、放氣作用的理想條件下得到的,故實際應用時對吸放氣的影響需要認真研究解決。
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