真空混合漏孔漏氣過程的原理圖

2009-03-25 朱　為東南大學電子工程系

　真空容器如存在混合漏孔,即使漏率達到1×10-3PaL/s量級,也無法用常規的噴吹示漏氣體探測漏孔。

圖1為混合漏孔漏氣過程的原理圖,示漏氣體從器壁的大氣側的通道A 進入夾層空間,再經歷一個漏入和抽走的一個平衡過程,以及示漏氣體與原夾層空間貯存空氣的混合替代過程,最后經通道B進入真空室。由于通道A和B都是一個微小漏孔,即使夾層空間體積很小,這個抽氣平衡過程仍將是十分緩慢,表現在進入真空室內示漏氣體的濃度平衡時間即反應時間變得十分漫長。只有采用氣罩法,才能保證進行連續長時間注入示漏氣體,以便在真空室內建立起一定濃度的示漏氣體。拆除氣罩,示漏氣體停止注入后,原存貯在漏孔通道中的示漏氣體同樣要經很長的時間才能流失,即有很長的保持時間。

實際混合漏孔的夾層空間和通道可能是空腔、毛細管或焊縫等,通道和夾層空間可能等效成很多個,示漏氣體經漏孔通道進入夾層空間,再與該夾層空間內原貯存空氣相混合需有一定時間,特別是這些通道和腔體往往會處在高壓強下,要依靠緩慢的氣體擴散而混合,這就造成了示漏氣體流動的延遲過程。多級串接和延遲,將形成超長的總延遲時間。很顯然,在延遲期內,真空室內基本還沒有出現示漏氣體,即使應用高靈敏度的檢漏儀,也測不到示漏氣體,這種長延遲特性是普通漏孔所沒有的現象,易被人們忽略,錯誤認為沒有漏孔。