動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法是用于高真空和超高真空區(qū)間的一種絕對(duì)校準(zhǔn)真空規(guī)的方法。

       動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法具有不怕吸附, 校準(zhǔn)下限隨著極高真空獲得技術(shù)的提高能夠延伸等優(yōu)點(diǎn), 已成為高真空和超高真空校準(zhǔn)中普遍采用的方法。

       從20 世紀(jì)60 年代, 我們研制了動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置的玻璃系統(tǒng), 1995 年研制了動(dòng)態(tài)流量法真空校準(zhǔn)裝置的金屬系統(tǒng)。隨著真空科學(xué)技術(shù)發(fā)展, 對(duì)高真空和超高真空的校準(zhǔn)提出了更高的要求, 通過不斷的改進(jìn)和完善, 積累經(jīng)驗(yàn), 研制了測(cè)量精度更高的動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置, 可用于高真空和超高真空規(guī)的精確校準(zhǔn)。

校準(zhǔn)裝置的組成

      動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置如圖1 所示, 由真空校準(zhǔn)系統(tǒng)、恒壓式氣體微流量計(jì)和抽氣系統(tǒng)三部分組成。

真空校準(zhǔn)系統(tǒng)

        真空校準(zhǔn)系統(tǒng)采用了雙球形結(jié)構(gòu), 由上球室和下球室兩部分組成, 在上球室與下球室之間有一個(gè)小孔板, 小孔位于上球室與下球室的內(nèi)切球的割線上, 小孔的直徑511mm , 小孔對(duì)氮?dú)獾牧鲗?dǎo)約為10 L , 上球室用于真空規(guī)的校準(zhǔn), 稱為真空校準(zhǔn)室。上球室和下球室的直徑均為5350 mm , 在上球室赤道位置上有7 個(gè)CF35 法蘭和1 個(gè)CF63 的法蘭,可用于連接被校真空規(guī)、四極質(zhì)譜計(jì)、磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)等。在下球室的赤道位置上有4 個(gè)CF35 法蘭, 用于連接磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī), 真空系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)規(guī)等, 稱為抽氣室。

        氣體流量從上球室的頂部引入, 通過一散流板使氣體分子散射后進(jìn)入上球室中, 通過小孔進(jìn)入下球室被分子泵抽出, 在上球室和下球室中產(chǎn)生了動(dòng)態(tài)平衡的壓力。真空校準(zhǔn)系統(tǒng)用316L 不銹鋼材料加工, 連接法蘭用316LN 不銹鋼材料加工, 全部采用金屬密封結(jié)構(gòu), 可承受250℃的高溫烘烤。

       1, 53. 濺射離子泵　2, 8, 27. 電容薄膜規(guī)(CDG) 　3, 4, 5, 6, 10,11, 13, 14, 15, 16, 17, 25, 26, 28, 29, 30, 32, 33, 36, 37, 42, 46, 48,49. 閥門　7, 47. 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)(SRG) 　9. 針閥　12. 壓力表　18, 19, 20. 氣瓶　21, 52, 55. 角閥　22, 54, 56. 分子泵　23, 57. 機(jī)械泵　24. 穩(wěn)壓室　31, 34. 小孔　35. 油處理器　38. 變?nèi)菔摇?9. 油室　40. 活塞　41. 電機(jī)　43. 四極質(zhì)譜計(jì)　44, 50. 冷規(guī)　45. 上球室　51. 下球室

圖1　動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置原理圖

恒壓式氣體微流量計(jì)

        恒壓式氣體微流量計(jì)可為動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置提供標(biāo)準(zhǔn)氣體流量。在流量計(jì)的設(shè)計(jì)中, 解決了恒壓控制、恒溫等許多技術(shù)問題, 對(duì)影響不確定度的各種因素進(jìn)行了仔細(xì)的分析, 研制成功了恒壓式氣體微流量計(jì), 實(shí)現(xiàn)了流量測(cè)量過程的計(jì)算機(jī)控制、數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理, 提高了流量測(cè)量的自動(dòng)化程度,同時(shí)對(duì)測(cè)量過程可能出現(xiàn)的各種不確定度進(jìn)行修正, 減小了流量測(cè)量的不確定度。

抽氣系統(tǒng)

        抽氣系統(tǒng)由主抽分子泵, 輔抽分子泵, 濺射離子泵、干泵、閥門等組成。為了獲得的較高的真空度, 采用雙級(jí)分子泵串聯(lián)抽氣。主抽泵采用了美國(guó)VARIAN 公司生產(chǎn)的V550分子泵,對(duì)氮?dú)獾某樗贋?50L/s; 輔抽泵選用法國(guó)ALCTEL 公司生產(chǎn)的ATH30+ 分子泵, 對(duì)氮?dú)獾某樗贋?6 L/s; 在兩臺(tái)分子泵之間安裝了瑞士VAT公司生產(chǎn)的CF35超高真空角閥; 前級(jí)泵選用了美國(guó)VARIAN 公司生產(chǎn)的PTS300干泵。為了長(zhǎng)期維持真空系統(tǒng)中的真空度, 采用抽速為100 Lös 濺射離子泵長(zhǎng)期抽氣, 使真空系統(tǒng)維持在高真空狀態(tài)。