真空規比對標準裝置期間核查方法
2009-05-29 趙光平 蘭州物理研究所真空低溫技術與物理國家級重點實驗室
真空規比對標準裝置是采用動態或靜態直接比對法校準真空計，是一臺操作方便、使用效率高的真空標準裝置。對真空規比對標準裝置采用比對法進行期間核查。
比對法有2 種情況，一種是2 臺設備技術指標相同，另一種是2 臺設備技術指標不相同，其中技術指標低的為被核查設備。
1、技術指標相同
2 臺技術指標相同的測量標準進行比對，比對結果差值為y-y0，應滿足式（3）
2、技術指標不同
2臺技術指標不同的測量標準進行比對，比對結果差值為y-y0，應滿足式（4）
式中U0 為技術指標高的測量標準的擴展不確定度；uc0 為技術指標高的測量標準的合成標準不確定度
選用靜態膨脹法真空標準裝置對真空規比對標準裝置進行期間核查，這2 臺標準技術指標不相同，其中真空規比對標準裝置的技術指標低。
分別用靜態膨脹法真空標準裝置和真空規比對標準裝置對同一臺美國MKS 公司生產的1.33 kPa 電容薄膜真空計校準，校準數據見表4、表5。
表4 靜態膨脹法真空標準裝置校準數據
表5 真空規比對標準裝置校準數據
表4 中，用靜態膨脹法真空標準裝置校準電容薄膜真空計的平均修正因子為1.003；表5 中，用真空規比對標準裝置校準的修正因子為0.998。根據式（4）計算得到二者的偏差為0.8%。
靜態膨脹法真空標準裝置的擴展不確定度U 為0.8%，真空規比對標準裝置的擴展不確定度為3.4%，根據式（4）計算得
二者的偏差為0.8%，小于3.5%，則真空規比對標準裝置技術狀態正常。
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