氣體微流量標準裝置期間核查方法
2009-05-29 趙光平 蘭州物理研究所真空低溫技術與物理國家級重點實驗室
氣體微流量標準是校準氣體微流量的一種裝置，是真空計量的基礎標準之一，用于參考漏孔及氣體微流量計的校準。對氣體微流量標準裝置采用多臺平均值法進行期間核查。
多臺平均值法采用3 臺或3 臺以上同等水平的測量標準，對同一被測量或被測測量器具進行測量，多臺測量結果的平均值yi 與核查的測量標準觀測值y 之差的絕對值，應滿足式（2）
式中yi 為多臺測量標準校準結果的平均值；n 為測量標準的數量。
作者實驗室已建立的氣體微流量標準裝置有恒壓式氣體微流量標準裝置2 臺，定容式氣體微流量標準裝置1 臺，恒壓/定容式氣體微流量標準裝置1臺。
對其中1 臺恒壓式氣體微流量標準裝置進行期間核查，選用其他3 臺流量計作為核查標準；傳遞標準選用中國計量院生產的薄膜滲氦型真空漏孔，其標稱漏率值為1.34×10-8 Pa·m3/s。
在每臺標準裝置上對傳遞標準漏孔均校準6次，并計算出平均漏率值，溫度為23℃。校準數據見表3。
表3 氣體微流量標準裝置漏率校準值
表3 中，3 臺核查標準的漏率值分別為1.33×10-8 Pa·m3/s 、1.39×10-8 Pa·m3/s 和1.34×10-8 Pa·m3/s，平均值為1.35×10-8 Pa·m3/s，被核查標準的漏值為1.28×10-8 Pa·m3/s，根據式（2）計算二者的偏差為5.2%。恒壓式氣體微流量標準裝置的擴展不確定為10%，代入式（2）得8.2%。
二者的偏差5.2%，小于8.2%，則恒壓式氣體微流量標準裝置技術狀態正常。
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