高真空玻璃系統的研究與改進

馬寅光 張滌新 劉蘇民

(蘭州空間技術物理研究所 蘭州 730000)

　　摘要：在真空技術中經常需要設計和制造玻璃真空系統。玻璃真空系統具有其特有的優勢，結構簡單、過程直觀、改造方便、造價低廉、加工時間短。

　　在一些特定條件下是金屬系統不可取代的，例如在真空蒸餾活性堿金屬的過程中，由于強堿金屬對于金屬真空系統具有

　　腐蝕作用，導致金屬系統在堿金屬氣氛下不能長時間工作，而玻璃系統可以緩解這種腐蝕，使得系統可以長時間工作在堿金屬氣氛中而不會降低其真空性能。

　　本文正是基于玻璃真空系統的這種不可替代性，對典型的玻璃高真空系統進行了研究和改進。提出了利用小型鈦離子泵和玻璃四級擴散泵聯合抽氣的方法實現玻璃真空系統的高真空。內容主要包括玻璃真空系統的典型結構、玻璃真空系統的測量、玻璃真空系統的檢漏、改進后玻璃真空系統的結構、性能等內容。