真空系統的最大可容許漏率

2008-11-05 真空技術網 真空技術網整理

　　真空系統漏氣是絕對的，不漏氣是相對的在真空檢漏技術中所指的“漏”是和最大容許漏率的概念聯系在一起的。

qLmax≤1/10PwS (1)
式中Pw----系統工作壓力
S----系統的有效抽速

　　漏孔的氣流特性

　　氣體流經漏孔的過程是很復雜的，可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態。主導流動狀態與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環境溫度有關。設環境溫度T=296K，入口壓力p2=1.01×105Pa，出口壓力。