以聚苯乙烯為固態碳源，拋光銅箔為襯底，通過改變固態碳源的溫度探索了固態碳源溫度對雙溫區化學氣相沉積法生長石墨烯的影響。樣品采用拉曼散射光譜、紫外-可見分光光度計和掃描電子顯微鏡進行了表征。結果表明，固態碳源溫度的變化直接影響了氣相碳源濃度，通過控制固態碳源溫度，可以控制所得石墨烯的層數。固態碳源動態變溫生長能夠在生長的起始階段降低石墨烯形核密度，同時打破晶粒長大時氫氣刻蝕速率與石墨烯生長速率的動態平衡，可以有效地提升石墨烯的覆蓋率。最終在襯底溫度為1000 ℃條件下使用固態碳源動態變溫制備了I2D /IG達到2. 91，透過率為97.6% 的高質量單層石墨烯薄膜。

　　石墨烯是由碳原子緊密堆垛而成的二維蜂窩狀結構，具有十分優異的電學、光學和力學性能，自其被人類所發現以來便受到了廣泛的關注。石墨烯具有高載流子遷移率、高比表面積、高透過率及高熱導率等有應用前景的特性，現在已成功將其應用于太陽能電池、傳感器、復合材料、光催化等領域。

　　近年來化學氣相沉積(CVD) 法制備石墨烯已發展為制備大面積高質量石墨烯的主要方法。反應過程中主要為含碳化合物被輸送至襯底表面后被襯底高溫分解后通過催化生長機制以及溶解析出機制得到石墨烯。目前石墨烯的研究中常利用的生長機制主要有襯底催化機制以及襯底溶解析出機制。真空技術網(http://shengya888.com/)認為其中表面催化機制以廉價Cu 襯底為代表，主要機理為碳源高溫分解并在襯底催化作用下脫氫形成含碳活性基團，當含碳活性基團在襯底上累計到達一定濃度后便在襯底表面形核生長，形成石墨烯薄膜。表面催化機制憑借其可控性強、制得石墨烯質量好等優勢在CVD 法生長石墨烯的過程中得到了廣泛應用。但如何提高石墨烯的覆蓋率和晶粒大小一直是石墨烯工業化生產面臨的一大問題。本文主要探索了固態源溫度變化對石墨烯生長的影響，并采用固態源動態變溫的方法生長了石墨烯，有效提高了所得石墨烯薄膜的覆蓋率。

1、實驗

　　本實驗采用雙溫度區間的CVD 管式爐進行石墨烯的生長，采用的襯底為銅箔，銅襯底先經過機械拋光及電化學拋光雙重拋光，使銅箔表面缺陷減少并在生長石墨烯前在襯底溫度1000℃下退火30 min，使銅晶粒長大，減少晶界等石墨烯易于形核的區域，降低生長石墨烯過程中的形核密度。之后在襯底溫度1000℃條件下，在拋光后的銅襯底上制備石墨烯。實驗設備結構如圖1 所示，碳源為質量為15 mg 的聚苯乙烯，生長氣氛中氫氣流量為100 mL/min( 標準狀態) ，氬氣流量為300 mL/min，生長氣壓為100 Pa，生長時間為30 min，固態碳源溫度為190 ～240℃。其中管內徑為64 mm，襯底所處恒溫度長度為150 mm，加熱區440 mm，固態源距離襯底420 mm。

圖1 雙溫區石墨烯生長設備示意圖

　　實驗得到的樣品采用拉曼散射光譜( ISA/JOBIN-YVON RMS T64000，Ar + 激光，波長514.5 nm)分析其薄膜結構性能；采用分光光度計( 島津UV-2550) 對轉移至玻璃襯底上的石墨烯樣品進行透過率測試；采用掃描電子顯微鏡( SEM，島津S-4800)觀察石墨烯的覆蓋率。

3、總結

　　本文采用聚苯乙烯作為固態碳源，在銅襯底上采用雙溫區CVD 法生長了石墨烯。通過改變固態碳源溫度，研究了固態碳源溫度變化對所得石墨烯薄膜的影響。實驗結果表明，固態碳源溫度的變化直接影響到氣態碳源濃度，通過控制固態碳源溫度，可以有效控制所得石墨烯的層數。在襯底溫度為1000℃，聚苯乙烯的質量為15 mg，生長氣氛中氫氣流量為100 mL /min，氬氣流量為300 mL /min，生長氣壓為100 Pa，生長時間為30 min，固態碳源溫度為210 ℃的條件下得到了質量較好的單層石墨烯。當固態碳源溫度提升到220℃和230℃時分別得到了2 層和3 層的石墨烯。采用固態碳源動態變溫生長能夠在生長的起始階段降低石墨烯形核密度，同時打破晶粒長大時氫氣刻蝕速率與石墨烯生長速率的動態平衡，可以有效地提升石墨烯的覆蓋率。通過優化溫度區間，在其它條件相同，固態碳源溫度改為200 ～240℃動態生長的條件下，制得了I2D/IG達到2.91，2D 峰半高寬為22.7 cm^-1，透過率為97.6%的高質量單層石墨烯薄膜。