閘板閥的工作原理及結構示意圖

2014-10-10 郭方準 實用真空技術

　　閘板閥中的密封面，相對于氣體流路的垂直方向運動而實現氣流封止，其構造類似于水庫的閘門，故稱閘板閥(圖1)。由于密封面為平面，為承受大氣壓強，整體構造比較厚重，體積也比較大。閘板閥內部的滑動部分通過焊接波紋管實現超高真空中的直線驅動，密封多采用氟膠圈。而閘板閥本體的密封，考慮到高溫烘烤，使用金屬(In)絲密封。

閘板閥的示意圖

圖1 閘板閥的示意圖

　　考慮到閘板閥兩側的壓強差，閘板閥的安裝有方向性，即密封面要朝向較高真空一側。正規的閘板閥，在較高真空面通常會做一個三角形標志。

　　真空腔體的連接，或者腔體和排氣泵(分子泵、離子泵)的連接，多使用閘板閥。