放氣閥的工作原理及結構示意圖

2019-10-05 郭方準 實用真空技術

　　放氣閥是向真空腔體內導入氣體，以破壞真空的閥門(圖1)。針對超高真空系統，一般情況下導入干燥的氮氣，以避免真空腔體內壁大量吸附水蒸氣。放氣閥不具備超高真空密封的能力，通常連接在進樣室上。

放氣閥的示意圖

圖1 放氣閥的示意圖