分子束法是早期用于UHV/ XHV 校準(zhǔn)的主要方法。分子束法的校準(zhǔn)原理如圖1 所示,由克努曾(Knudsen) 室、低溫室和校準(zhǔn)室組成。

圖1 　分子束法校準(zhǔn)原理圖

　　設(shè)n0 和n 分別是克努曾室和校準(zhǔn)室中的分子數(shù)密度; v0 和v 分別是這兩室中分子的平均熱運(yùn)動速度。從克努曾室經(jīng)小孔A1 向液氦冷卻的分子束管中漫射的分子遵循余弦定律分布。碰到液氦壁上的分子全被粘著,碰到孔A2 的分子數(shù)為

　　式中, l 為分子束管的長度, A1 , A2 分別為孔A1 ,A2的面積。

　　穩(wěn)態(tài)平衡時,從校準(zhǔn)室經(jīng)A2 漫射出的分子數(shù)與入射分子數(shù)相等,即

　　如果校準(zhǔn)室中的溫度T 與克努曾室中的溫度T0 相等,則

　　從上式可知,此法的校準(zhǔn)壓力p 與孔A2 的大小無關(guān)。A2 的大小僅由校準(zhǔn)室獲得的本底壓力來決定。分子束法校準(zhǔn)下限可延伸到10^-10Pa 以下。分子束法最大的缺點(diǎn)是很難達(dá)到理想的熱平衡狀態(tài)。圖2 所示為美國NASA 的Peter Fowler 等于上世紀(jì)六十年代建立的分子束法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖 。美國的UHV/XHV 校準(zhǔn)系統(tǒng)是作為阿波羅計(jì)劃的一個項(xiàng)目。

圖2 　美國NASA 的分子束法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖

　　該系統(tǒng)復(fù)合了分子束法、壓力衰減法和冷凍抽氣技術(shù),可在10^-6Pa～10^-11Pa 壓力區(qū)間對飛行型真空規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn),校準(zhǔn)誤差小于5 %。通過外控聯(lián)動機(jī)械裝置,被校真空規(guī)在系統(tǒng)中可以水平擺動0°～40°和俯仰變化-5°～+5°,以改變規(guī)入口軸線與分子束軸線的夾角的變化來模擬航天器的偏航角和俯角的變化。高壓氣源2 中壓力在13.3Pa～1.33 ×10⁶Pa 范圍變化,用旋轉(zhuǎn)活塞規(guī)1測量,溫度295K～301K,此已知壓力經(jīng)多孔塞3 注入到分子爐4 中,衰減了4～6 個數(shù)量級。分子爐中的氣體經(jīng)過已知尺寸的孔8按余弦定律漫射到液氦冷凍低溫泵室14中。大部分氣體分子被液氦壁捕獲,只有很少一部分形成定向分子束9。分子束通過液氦冷卻的通道到達(dá)被校規(guī)12的入口。

　　美國在該UHV/ XHV 校準(zhǔn)系統(tǒng)上主要對安裝在阿波羅飛船上的真空計(jì)和質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行校準(zhǔn) 。

　　圖3所示為德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB) 的G. Grosse 等于上世紀(jì)八十年代建成的分子束法UHV/ XHV 校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖。該校準(zhǔn)系統(tǒng)由不銹鋼制作而成,采用全金屬密封,由抽氣單元(含分子泵、離子泵以及液氮冷卻的鈦升華泵) 和分子束管兩大部分組成。分子束管的下端部分是克努曾室,其上通過接口法蘭安裝有參考規(guī)。產(chǎn)生低校準(zhǔn)壓力的必要條件是校準(zhǔn)室壁的出氣率極低,為此校準(zhǔn)室預(yù)先要在真空爐中825K高溫下除氣72h,校準(zhǔn)室中本底壓力可達(dá)10^-11Pa。該校準(zhǔn)系統(tǒng)的量程和不確定度為: 10^-10Pa、30%;10^-9Pa 、15%; 10^-8Pa 、10%。特別提及的一點(diǎn)是該校準(zhǔn)系統(tǒng)需要裝配校準(zhǔn)過的電離規(guī),由此可見分子束法并不是絕對校準(zhǔn)方法。

圖3 　德國PTB 的分子束法UHV/XHV 校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖

　　在開始校準(zhǔn)前, 整個校準(zhǔn)系統(tǒng)先在300 ℃～400℃下烘烤36h 左右,被校規(guī)除氣后連續(xù)工作15h以確保在器壁和電極表面達(dá)到吸附2解吸平衡。校準(zhǔn)時在克努曾室的充氣壓力范圍為10^-5Pa～10^-1Pa。在該UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)上對兩個電離規(guī)(Helmer規(guī)和分離規(guī))在10^-5Pa～10^-10 Pa 范圍內(nèi)進(jìn)行了校準(zhǔn)。在動態(tài)流量法UHV 校準(zhǔn)系統(tǒng)上在10^-2Pa～10^-7Pa范圍內(nèi)對以上兩個規(guī)也進(jìn)行了校準(zhǔn)。

　　校準(zhǔn)結(jié)果表明,在重疊區(qū)間10^-5Pa～10^-7Pa內(nèi),兩個校準(zhǔn)系統(tǒng)具有很好的一致性( 校準(zhǔn)偏差小于1%) 。

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