真空規吸放氣特性測試研究

盛學民 馮 焱 董 猛 成永軍 趙 瀾 張瑞芳

(蘭州空間技術物理研究所國防科技工業真空一級計量站 蘭州 730000)

　　摘要：利用真空材料放氣率測試裝置對各類真空規的吸放氣特性進行了實驗測試研究，主要內容包括：真空規吸放氣特性測試的實驗原理及方法、實驗過程和結果分析等。

　　在真空材料放氣率測試裝置上運用定容法、小孔流導法和雙通道氣路轉換法對冷規、分離規、電容薄膜規和磁懸浮轉子規等真空測量元件的吸放氣特性進行實驗研究。

　　測試時系統經過高溫烘烤，以減小系統本底放氣對真空規吸放氣測試帶來的影響;通過組合使用連接在測試系統上的真空規，測量系統的壓力變化，來研究真空規的吸放氣特性;利用真空規傳感器和管道閥門的開關等不同狀態下放氣量的差異性來測量研究各真空規的吸放氣量。

　　研究結果可對真空計量標準的使用和性能研究提供借鑒和參考。