如何選配合適的前級泵和預(yù)抽泵
真空系統(tǒng)的主泵選定之后,重要的問題是如何選配合適的前級泵和預(yù)抽泵。通常前級泵直接影響主泵的抽氣性能,影響真空系統(tǒng)的抽氣時間和經(jīng)濟(jì)效益。配前級泵時應(yīng)遵循如下幾點(diǎn)規(guī)定:
(1)前級泵應(yīng)保證能及時排出主泵所排出的氣體流量。
(2)前級泵在主泵(如擴(kuò)散泵、油增壓泵,分子泵和羅茨泵)出口處造成的壓強(qiáng)應(yīng)低于主泵的最大排氣壓強(qiáng)。
(3)兼作預(yù)抽泵的前級泵應(yīng)滿足預(yù)抽時間的要求。
當(dāng)選用油蒸氣流泵作為主泵時,配前級泵的方法可以按經(jīng)驗標(biāo)準(zhǔn)所推薦的前級泵的大小來確定,見表4。
所配前級泵確定之后,即可按前級泵的入口尺寸選擇前級管道閥和預(yù)抽管道閥,確定備部分連接管道的尺寸。根據(jù)以上的確定,可繪制出真空系統(tǒng)設(shè)計圖。
分子泵作為主泵時,其抽氣能力與前級泵的抽氣能力有密切關(guān)系。分子泵的前級側(cè)需要保持分子流狀態(tài),它才能穩(wěn)定工作。為了保證分子泵前級側(cè)處于分子流狀態(tài),通常按式(47)選取前級泵的抽速。
羅茨泵作為主泵時,由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與定子之間的間隙較大,所以它對氣體的壓縮比較小,一般其前綴泵要大些。通?捎糜头鈾C(jī)械泵或水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵,前級泵的抽速可根據(jù)經(jīng)驗公式(48)選取。