提問(wèn)：

　　在我的渦輪分子泵組里，我用隔膜泵作為前級(jí)泵。但是我想要一種抽速更高、本底真空度更好的干式前級(jí)泵作為替代，因?yàn)槲蚁胍�在高真空下達(dá)到更低壓力，而且更加快速地再生低溫泵。你有什么建議?有什么需要注意的? 在購(gòu)買(mǎi)替代品之前有什么我應(yīng)當(dāng)考慮的嗎?

　　回答:

　　我們建議您采用我們的ACP系列干式前級(jí)泵，相比隔膜泵，該系列具有更高的抽速和更好的本底真空度。

　　背景：

　　ACP泵是一款多級(jí)羅茨泵。由于其設(shè)計(jì)，該類(lèi)型的泵在抽吸模塊沒(méi)有密封。由于不存在易于變質(zhì)損壞的抽吸模塊密封，運(yùn)行時(shí)的性能參數(shù)穩(wěn)定，泵所產(chǎn)生 的真空非常清潔，沒(méi)有微粒。通過(guò)減少磨損部件，使得泵可以達(dá)到很長(zhǎng)的維護(hù)保養(yǎng) 周期，高達(dá)四年或22000運(yùn)轉(zhuǎn)小時(shí)(在所有運(yùn)行條件下)。這種風(fēng)冷式泵有三個(gè)型號(hào)，抽速高達(dá)37m³/h，比我們最大的隔膜泵快四倍。此外，ACP泵的本底真空度至少比我們最好的隔膜泵好十倍。對(duì)于少量腐蝕性介質(zhì)的抽吸，選擇采用惰性氣體 凈化的版本。具有氣鎮(zhèn)的ACP可以用于可冷凝介質(zhì)。

　　你應(yīng)該考慮以下要點(diǎn)：

　　1、如果真空泵輸送腐蝕性介質(zhì)，當(dāng)泵停機(jī)時(shí)可能會(huì)含有該介質(zhì)殘留物。停電或緊 急停機(jī)時(shí)正是如此。空氣或大氣水分等氣體從排氣管反向擴(kuò)散回到停止運(yùn)行的 泵里。例如，空氣水分和鹵素形成的酸 會(huì)腐蝕泵材料。為了避免該過(guò)程，所有 ACP泵在泵出口上都配備有止回閥。

　　在高真空應(yīng)用中，氣體流量非常小。因此，泵內(nèi)部無(wú)法形成從內(nèi)部在出口處打 開(kāi)閥門(mén)的壓力。真空室和前真空線內(nèi)的氣體成分在高真空下泵循環(huán)期間主要為輕質(zhì)氣體，例如氫氣。如果這些氣體沒(méi)有被逐出前級(jí)泵，由于ACP泵定子和轉(zhuǎn)子之間的間隙，它們會(huì)擴(kuò)散回到泵中，而且，由于使用中的渦輪泵的壓縮比恒定，它們還會(huì)導(dǎo)致高真空下總壓力升高。因此，如果你使用氣鎮(zhèn)，通過(guò)載氣流間歇性地逐出輕質(zhì)氣體，這會(huì)給你的系統(tǒng)基礎(chǔ)壓力帶來(lái)積極作用。

　　雖然使用氣鎮(zhèn)導(dǎo)致前真空線總壓力上升至大約0.1mbar，但是由于前真空線的輕質(zhì)氣體部分壓力降低，高真空側(cè)的總壓力將下降。

　　HiPace渦輪泵和ACP前級(jí)泵的組合可以在干式真空系統(tǒng)中輕松到達(dá)明顯低于10^-10 mbar(=10^-8 Pa)的本底壓力。

　　2、你在問(wèn)題中提到你想要再生低溫泵。在低溫抽氣泵再生過(guò)程中，大量水蒸氣在短時(shí)間聚集在一起。為了避免水蒸氣在泵內(nèi)冷凝，應(yīng)當(dāng)對(duì)其進(jìn)行加熱。由于壓縮熱量增加，使用氣鎮(zhèn)使泵得以加熱。在低溫抽氣泵再生之前， 你應(yīng)當(dāng)激活A(yù)CP泵中的氣鎮(zhèn)至少三十分鐘。再生之后，氣鎮(zhèn)應(yīng)當(dāng)繼續(xù)運(yùn)行至少三十分鐘。

　　兩項(xiàng)建議都涉及氣鎮(zhèn)的使用。對(duì)于可以控制和/或遠(yuǎn)程控制的氣鎮(zhèn)，除了內(nèi)置的開(kāi)關(guān)閥門(mén)選擇以外，可以將變徑法蘭用螺釘固定到泵定子上代替標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)。具體應(yīng)用的配件可以隨意連接到該適配器上。

　　當(dāng)有腐蝕性介質(zhì)時(shí)，應(yīng)當(dāng)使用惰性氣體，例如干氮?dú)猓�用作沖洗介質(zhì)。

　　為了在停電期間防止你的系統(tǒng)通過(guò)氣鎮(zhèn)排氣，我們建議在前級(jí)真空處使用電磁閥。