真空系統的設計中的主泵的選擇
在真空系統中,主泵決定了被抽容器的極限真空度和工作真空度,而前級泵則在主泵出口處造成始終低于主泵的臨界前級壓力的真空度,保證主泵能正常工作。
選主泵要考慮兩個方面,一是選擇主泵的類型,二是確定主泵抽速的大小。
(1)真空系統主泵類型的確定
確定主泵類型的依據是:
①根據被抽容器所要求達到的極限真空度和工作真空度。一般選取主泵的極限真空度稍高于被抽容器所要求的極限真空度(如高半個數量級)。每一種泵都有其最佳工作壓強范圍,應保證將被抽容器的工作真空度選在主泵的最佳抽速壓強范圍內。
②根據被抽氣體的種類,每種氣體所占的比例以及氣體中所夾雜的灰塵情況。為此,應當對各種真空泵的性能及使用特點進行了解。例如:油封式機械真空泵能夠直接向大氣中排氣,即可以單獨抽空,又可以作為某些泵的前級泵。在無氣鎮裝置的情況下,該泵只適用于抽除干燥氣體、當帶有氣鎮裝置時,也可以抽除含有少量水蒸氣的氣體,不適合抽除有爆炸性的氣體,對金屬有腐蝕性的氣體,以及含有顆粒灰塵的氣體。再如油增壓泵和油擴散泵,它們都屬于油蒸汽流泵。這兩種泵對摩爾質量較小的氣體(如氫氣)抽氣能力大,被抽氣體中含有少量灰塵和水蒸汽也影響不大。但它們不能將氣體直接排到大氣中去,必須有前級泵,而且工作前必須有一個預真空環境。這兩種泵作為主泵的系統,都會有一定數量的泵油蒸氣返流到被抽容器中。
③根據初次投資和日常運轉維護費用
當兩種類型以上的泵都適合選用時,則要根據經濟指標來確定主泵。在比較經濟指標時,要從整套真空系統來考慮。如圖12是油擴散泵、油增壓泵、羅茨泵系統單位抽氣速率(L/s)的價格與入口壓強間的關系曲線。圖13是單位抽氣速率(L/s)的輸入功率與入口壓強的關系曲線。由兩個圖中的曲線可見,在1.33×10-1~13.3Pa的壓強范圍內,以油增壓泵為主泵的真空系統比較經濟,所需要的功率小。在壓強低于1.33×104Pa的范圍內,油擴散泵抽氣系統比較經濟。在壓強高于13.3Pa的范圍內,羅茨泵抽氣系統比較經濟。所以在選泵過程中應立足于即適用又經濟。