真空閥門在真空系統中的作用及其分類
在真空系統中,用來改變氣流方向,調節氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。
真空閥門在真空系統中的作用是:
(1)開關氣路 如圖1所示,當閥1和閥4關閉,閥2打開時,機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經預真空抽氣管路;當閥2關閉,閥4打開時,機械泵可單獨對擴散泵抽真空;當閥1和閥4同時打開時,擴散泵和機械泵可同時工作,對容器進行抽空,此時氣流流經擴散泵。可見,閥門在這種操作中的作用是開關氣路,改變氣流的流經路線。
(2)控制氣流大小,調節真空度在圖1中,調節閥1的閥蓋開啟角度,即可調節流經管路的氣流量大小;關閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當它轉向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多,通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類,其分類見表1。
真空閥門的型號編制方法國家專業標準作了規定,可查閱有關標準。
表1 真空閥門分類
分類方法
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名 稱
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根據閥門的職能
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低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門
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根據結構塑式
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擋板閥、翻板閥,碟閥、隔板閥、閘閥、針閥、插板閥
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根據驅動方式
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手動閥、電動閥、手電兩用閥、電磁閥、氣動閥、液壓真空閥
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根據材料
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金屬真空閥、玻璃真空活塞(考克)、塑料閥
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根據用途
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截止閥、隔離閥、放氣閥、節流閥、換向閥、封閉送料閥
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根據通道方式
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腳閥、直通閥、雙通閥、三通閥、四通閥
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