在真空浸漬、真空干燥及真空冷凍干燥等工藝過程中,真空系統抽除的氣體主要是水蒸汽及其它可凝性蒸汽,其工作真空度多為10~10-1Pa,國外通常用羅茨泵與油封機械泵組合進行抽氣。為此,近年來國外生產的油封機械泵都有水蒸汽最大入口壓力這個指標(通常為103~3×103Pa),而國產油封機械泵一般都沒有這項指標,而且有的機械泵所配的氣鎮閥逆止作用不強,氣鎮作用不顯著, 達不到大量抽水蒸汽的目的,造成水蒸汽大量地凝結于泵油中,油水混合形成白色的乳濁液,降低機械泵的密封和潤滑性能。乳蝕液會使泵體內部生銹, 生銹的鐵粉落入油中呈赤褐色,并與泵油一起在泵內循環,這對泵的使用壽命和極限真空度等性能都帶來不良的影響。油中混有有機溶劑時對泵性能的影響見表3。

表3 泵油混入溶劑時的極限壓力

幾種常用的抽除水蒸汽的真空系統(工作真空度為10～10-1Pa) 為:

(1) 水蒸汽噴射泵抽氣系統，水蒸汽噴射泵適用于大排氣量的真空系統,系統需要配置工作蒸汽源。

(2) 油增壓泵+ 油封機械泵，該系統不適合變壓器的氣相干燥,尤其在油增壓泵中嚴緊使用裸式電爐,否則明火易引起爆炸事故。

(3) ZJ型羅茨泵+ZJ型羅茨泵+雙級水環泵，該抽氣系統可獲得較高的極限真空度和比較大的排氣量。但是該系統的投資成本較大,易出現水環泵的工作液倒流到真空容器中去的故障,而且水環泵的抽氣效率低,單位耗電量要比滑閥泵高50%。

(4) 滑閥泵+水環泵或ZJ型羅茨泵+滑閥泵+水環泵，因在系統中滑閥泵配有前級泵(水環泵),使其壓縮比減少,故水蒸汽很少在滑閥泵中凝結,但仍存在第3項的缺點。

(5) ZJ 型羅茨泵+油封機械泵，因油封機械泵配有高效的氣鎮閥、可靠的油水分離器及設計合理的潤滑系統,使得該系統可以在入口水蒸汽壓力為3000Pa下連續運轉,這是近年來國外采用的經濟、可靠的抽水蒸汽的真空系統。