清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境.自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品.在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

　　①無油，無摩擦——真空腔內無油，非接觸，無磨損，不產生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空;

　　②抽氣量大——雙渦旋盤，結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節省能源;

　　③抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元，壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封，泄漏低;

　　④非接觸,良好平衡,力矩影響小，噪音低，振動小;

　　⑤結構簡單緊湊，相同尺寸下，運動半徑小，運行平穩;

　　⑥體積小，維修方便，維護費用低;

　　⑦采用空氣冷卻，無需水冷。

　　目前無油渦旋真空泵的應用領域為:

　　①半導體行業——薄膜制備設備、半導體器件封裝設備;

　　②科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;

　　③機械設備行業——材料制備設備、真空檢測、材料提純設備;

　　④化學工業;

　　⑤醫療設備——牙科儀器、透析機、生物制品與藥品制備;

　　⑥包裝行業——食品、藥品、生物制品等包裝設備。