無油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤付\曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機理是在動、靜渦旋盤相互不接觸的情況下，依靠動、靜渦旋盤相對轉動形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續完成吸氣、壓縮和排氣過程。在充分考慮抽氣過程中發生熱交換的情況下，盡量減少動、靜渦盤問的徑向和軸向間隙,可以提高抽速和極限真空度。

    針對無油渦旋真空泵結構上存在著的運轉過程中水分和雜質易積聚和軸承易磨損的弱點,加氣鎮閥是必要的選擇。

    結構上的改進主要有兩點：

    ①．加氣鎮閥使極限真空度保持要求值——進氣壓力O.03MPa(G)以下，流量lOL/min以下。

    ②．軸承端面加雙側密封圈密封，有效防止軸承磨損。

    在無油渦旋真空泵的設計過程中，需要解決的問題包括：

    ①．渦旋泵的CAD設計一一型線方程的確定及修正，初始角修正，運動模擬；

    ②．渦旋盤的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大小：抽速、極限真空度；

    ③．渦旋盤的表面處理一一耐腐蝕、潤滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；

    ④．密封墊材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產生微粒。