(1)無油渦旋真空泵抽水汽注意事項

    無油渦旋真空泵的維護標準是以抽潔凈氣體為基礎制定的，抽水汽標準不同。因此要注意下述各點：

    ①．抽水蒸汽泵的維護時間間隔必須縮短，因為水汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水汽中物質成份對泵的工作都有影響。

    ②.抽水蒸汽時，要在規定溫度下工作，進氣溫度必須低于50℃。當被抽氣體溫度高于50℃時，應當在無油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱，以降低進氣溫度，使之低于50。進氣溫度高于50℃會對無油渦旋真空泵造成損害。

    ③．抽水汽時要加氣鎮閥，無油渦旋真空泵抽水蒸汽會導致水汽在泵內凝結。凝結的水汽會引起泵極限真空度降低，或者對泵造成損害。氣鎮閥不僅能抽水汽，還能維持極限真空。

    (2)氣鎮閥的使用注意事項

    所謂氣鎮閥及其作用概念非常簡單，就是在容積式真空泵的壓縮室上開一小孔，裝上一個調節閥。打開此調節閥啟動無油渦旋真空泵，當動渦旋盤轉動某一位置時，空氣就通過小孔摻人壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分水蒸氣不至于凝結，和摻入的氣體一起被排出泵外。這樣就達到了抽水蒸汽的目的。而這個調節閥就是氣鎮閥。氣鎮閥的使用注意事項包括：

    ①抽水汽時，必須開啟氣鎮閥抽氣。如果氣鎮閥關閉抽氣，水汽會在泵內積結，對泵造成損害。

    ②．抽水汽后，必須在開啟氣鎮閥狀態下再抽氣超過l小時，如果抽水汽后立即關閉氣鎮閥，水汽會在泵內積結，對泵造成損害。

    ③．當給氣鎮閥口充氮氣或干燥大氣時，要將壓力控制在大氣壓內，流量小于lONL/min,氣壓高會對泵造成損害。

    ④．當被抽真空室內濕度高于60％時，—定要開啟氣鎮閥。

    ⑤．一定要在泵開啟前、關閉后，開啟和關閉氣鎮閥，千萬不能在泵工作過程中關閉氣鎮閥。泵工作時改變氣鎮閥工作狀態(開啟或關閉)會使泵損壞，造成人身傷害。

    (3)抽水汽時無油渦旋真空泵的操作

    抽水汽時，泵的啟動步驟包括：

    ①．關閉截止閥(以免開關泵時泵中積存的碎屑會被抽回真空室中(帶漏氣閥時要開啟漏氣閥))；

    ②．打開氣鎮閥(拆下絲堵，換上氣體過濾器即可)；

    ③打開泵開關；

    ④．開啟截止閥(檢查確認真空泵已開啟，使用漏氣閥時要關閉漏氣閥，抽真空室)。

    抽水汽時，停泵步驟包括：

    ①．關閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室；

    ②．關閉泵開關；

    ③．關閉氣鎮閥(結束氣鎮閥工作時，拆下氣體過濾器，用扳手輕輕擰上絲堵)。