無油渦旋真空泵主要由5個部件組成：

    ①．動靜渦旋盤付與基座；

    ②．曲軸；

    ③．密封墊；

    ④．防自轉機構；

    ⑤．電機。

    無油渦旋真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結構體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交叉組裝在一起，兩者之間由防自轉機構保證180^。相位差，這樣結合組成的一對渦旋盤付構成了無油渦旋真空泵的基本抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線(即橫截面渦旋線上的幾個點)上接觸形成對稱的幾對月牙腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，使靜渦旋盤與動渦旋盤的接觸點沿渦旋曲面移動實現吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級無油渦旋真空泵中，有兩個方向對應的靜渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環。曲軸每轉一轉，就有一組新的月牙腔形成，所以無油渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環以近1500轉/分的頻率被連續重復,對被抽氣體形成包容和強制輸送。

    眾所周知，無油渦旋真空泵(Oil free scrloo vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點。下面以普通旋片真空泵為例，說明其差別：

表1 無油渦旋真空泵與普通直聯式旋片真空泵技術指標的對比