真空閥門大致有兩種:一種是關閉后隔絕大氣和真空空間的開關形閥門,另一種是調整通氣量的流量可變閥門。后者在導入氣體之類的設備上使用。    １.開關氣路

    一般而言的真空閥門是指開關氣路閥門。閥門的基本功能是在關閉時確實隔絕大氣和真空空間。

   (1)真空閥門的基本結構

(1)閥門封口部,

(2)傳動軸,

(3)外罩封口部。

以L形閥門為例如圖所示。根據三個部分的構造不同,被利用在不同的真空領域。

   (2) 閥門的形式

    閥門大體有四種形式,即角閥,蝶閥,直通閥和閘閥。其特點由圖2所示。各種閥門根據應用的真空領域而選定

   (3) 閥門的驅動

    閥門的驅動有手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅動為主,一部分小型閥門通過電磁鐵來驅動。

    2.流量可變閥門

    流量可變閥門主要應用于控制向真空容器內氣體導入量和控制有效排氣速度。

   (1)氣體導入閥門

    圖3所示的閥門,通過控制無氧銅和超硬合金接觸面的氣體導通率來控制氣體流量,信賴性高。流量可變閥門由金屬構成,可以烘烤也可以切斷氣體導入。

    這種閥門被安裝在真空腔和排氣泵之間,通過調節氣體導通率來調節排氣速度。相片1是蝶形閥門,通過活塞角度的變化調節氣體導通率。