真空擋板閥的結構與工作原理
真空擋板閥的工作原理是閥板通過閥桿做上下運動而實現密封的。驅使閥桿運動的傳動部件有手動、手電兩動、氣動三種方式。手動傳動部件,以螺紋結構為主,也可以采用平凸輪結構。圖1和圖2分別為直角式、直通式真空擋板閥結構示意圖。手動兩用的傳動部件,由電動機、蝸輪、蝸桿組成,并裝有行程開關。
當接通電源后,電動機按某一方向(如開啟方向)旋轉,通過蝸輪、蝸桿帶動閥桿向上運動使閥板上升,當閥上升到一定高度時,行程開關自動切斷電源,閥桿運動立即停止,反之亦然。手動時,松開手輪背帽,用手按一定方向轉動手輪即可,圖3為GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖。
氣動傳動部件以壓縮干燥空氣為動力,通過電磁換向閥改變氣路方向,推動汽缸活塞上下運動,帶動閥桿上下運動,使閥板開啟關閉,從而達到接通或停止氣流的目的。
圖1 直角式真空擋板閥結構
1—導向槽;2—導向銷;3—閥桿;4—閥蓋;5—密封閥;6—閥體
圖2 直通式真空擋板閥結構
1—手輪;2—銷;3,9—密封圈;4—法蘭套;5—波紋管;6—閥桿;7—彈簧;8—閥蓋;10—閥體
圖3 GDD型手、電兩用真空擋板閥外形圖
1—手動輪;2—減速器;3—限位開關;4—電動機;5—定位座;6—閥門;7—絲桿;8—閥蓋
真空擋板閥有高真空擋板閥和超高真空擋板閥兩種。高真空擋板閥用于高真空系統接通或截止氣流。適用壓力范圍:軸封為橡膠時為1.3×10-4~105Pa;軸封為波紋管結構時為1.3×10-5~105Pa。工作介質溫度:-25~80℃(密封件為丁腈橡膠);-30~150℃(密封件為氟橡膠)。閥體材料:碳鋼鍍鎳或不銹鋼;閥板密封材料丁腈橡膠或氟橡膠。
超高真空擋板閥用于超高真空系統接通或截止氣流。適用壓力范圍為1.3×10-3~105Pa。閥門開啟狀態,烘烤溫度小于400℃;閥體材料為不銹鋼;閥板材料為無氧銅;軸封處密封件材料為不銹鋼波紋管。這兩種真空擋板閥使用的工作介質為潔凈的空氣或對閥門無腐蝕的干凈氣體。不適合用在對金屬有強腐蝕性和含有顆粒狀態灰塵的氣體情況下長期使用。
高真空擋板閥由于具有密封可靠、流導大、安全性好以及可手控、電控、氣控等特點,形式多樣,規格齊全,公稱尺寸DN150~1200,結構合理等,因此,被廣泛用于大、中型多種高真空裝置的真空系統之中,如用于真空鍍膜設備,真空熱處理爐、真空釬焊、高真空電子束焊機、離子束刻蝕設備、空間環模設備等。