四極質譜計校準技術發展現狀

2013-03-09 任國華 蘭州空間技術物理研究所

四極質譜計校準技術發展現狀

任國華， 張滌新， 趙瀾

(蘭州空間技術物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：作為殘余氣體分析器和分壓力測量的主要儀器，四極質譜計的使用越來越引起重視，使得其校準技術研究成為真空計量領域的一個熱點問題。

　　本文將從最初美國真空學會推薦的四種四極質譜計校準方法開始，討論研究美國國家標準技術研究院(NIST)、德國聯邦物理研究院(PTB)、意大利國家計量研究院(IGMC)、日本國家工業科學技術研究院(AIST)直到我國的清華大學和蘭州空間技術物理研究所在四極質譜計校準技術方面的研究成果，分析這幾個實驗室方法的優缺點，為國內外同行提供參考。