利用真空計去測量稀薄氣體的壓力時，不僅一般常用的相對真空計與被測氣體種類有關。而且不同種類的氣體對真空計的影響也不同。如果被測氣體是氮氣或惰性氣體，則基本無影響。但多數情況下，真空系統中的氣體是氮、氧、氫、水蒸氣、甲烷、油蒸氣等多種氣體和蒸氣的不同組合，其中尤其是氧、水蒸氣、油蒸氣等組分會給真空計規管帶來很大的影響。因此在選擇真空計時，需要考慮被測氣體成分對規管的壽命及測量準確性帶來的影響。

    氧氣是理想氣體，可以用麥氏真空計進行測量，但是當氧分壓過高時，會使水銀表面發生氧化，影響水銀的表面張力，使水銀在毛細管中移動時位置不準確，造成測量誤差。

    普通熱傳導(例電阻)真空計的燈絲在高溫下會氧化，改變熱絲的表面狀態，引起規管零點漂移和靈敏度的改變，應采用抗氧化熱絲的規管。熱陰極電離規燈絲亦易氧化，使其壽命縮短。

    對氧分壓較高的氣體氛圍，在粗低真空范圍內可用薄膜真空計測量；高真空時使用輻射真空計和冷陰極規管。

       電阻真空計和鎢陰極熱陰極電離計規管燈絲的材料為鎢，鎢絲溫度較高，高溫燈絲與水蒸氣發生氧化作用，水蒸氣會被高溫鎢表面分解并與鎢反應生成氧化鎢和原子態氫，氧化鎢蒸發后便附著在規管玻壁上。原子態氫則從管壁上的氧化鎢中奪取氧再變成水蒸氣。這樣循環下去，水蒸氣就起著”運輸”鎢的作用。致使鎢陰極不斷的蒸發，而使燈絲迅速損壞。特別是水蒸氣分壓大于10^-2Pa時，規管的壽命很短，不易用于測量水蒸氣。

2、水蒸氣對真空計的影響

水蒸氣是可凝性氣體，壓縮式真空計測量時要壓縮被測氣體，使水蒸氣凝結，因此在一般情況下不能用壓縮式真空計進行測量。它對熱傳導真空計的影響與氧氣一樣，會使規管零點漂移和靈敏度發生變化。

3、油蒸氣對真空計的影響

    用熱傳導真空計或電離真空計測量油蒸氣時。會因油蒸氣污染燈絲或在高溫陰極上分解生成碳氫化合物，嚴重的污染電極和管壁，使熱傳導情況改變，而使規管的靈敏度和特性發生明顯的變化，造成測量誤差。