真空規(guī)原位置校準裝置，裝置圖具體請見真空規(guī)原位置校準原理和裝置 ，根據(jù)不同的校準范圍采用不同的校準方法，一般分為動態(tài)直接比對法、靜態(tài)直接比對法和壓力衰減法3 種方法，校準范圍為10+5～10-4Pa，合成不確定度小于5％。

1、 靜態(tài)直接比對法

       當校準室中的本底壓力滿足被校壓力的要求時，關閉超高真空插板閥，通過調(diào)節(jié)微調(diào)閥向校準室內(nèi)充入所需的校準壓力，用電容規(guī)10（133kPa）作參考標準和被校真空計同時測量校準室內(nèi)的壓力，直接進行比對校準。這種方法適用于102～105 Pa 壓力范圍各類真空計的校準。

2、動態(tài)直接比對法

        在10-1～102 Pa 的壓力范圍內(nèi)，關閉超高真空隔斷閥13，打開超高真空隔斷閥11，調(diào)節(jié)微調(diào)閥向校準室內(nèi)充入所需的校準壓力，用電容規(guī)14（133 Pa）作參考標準和被校真空計同時測量校準室內(nèi)的壓力直接進行比對校準。

3、壓力衰減法

         由于在10-4～10-1Pa范圍的壓力，已經(jīng)超出電容規(guī)（133Pa）的壓力范圍，如果仍用電容規(guī)作為主標準器，需采用壓力衰減法才能滿足要求。因為在10-4～10-1Pa的壓力范圍，氣體分子處在分子流狀態(tài)下，限流小孔8與12 的流導比僅僅是幾何尺寸的函數(shù)，而且與氣體的成分無關。只要計算出流導比就可準確計算出校準壓力。利用壓力衰減法省略了該范圍內(nèi)的磁懸浮轉子規(guī)或副標準電離真空計。具體工作過程是關閉超高真空隔斷閥，打開超高真空隔斷閥13，調(diào)節(jié)微調(diào)閥，使上游室中的壓力處于10-1～10 Pa 范圍內(nèi)，用電容規(guī)14（133Pa）測量上游室中的壓力，并經(jīng)過計算得到校準室中的壓力。

       若上游室中的壓力為p1，限流小孔12 的分子流導為C1，限流小孔8 的分子流導為C2，當氣體達到平衡后，校準室中的壓力p2 為

        在分子流條件下，C1/C2為常數(shù)，只要以任何一種氣體準確測定C1/C2，就可以利用式（1）計算校準室中的壓力p2。由式（1）可知，不必分別測量小孔流導C1 和C2 的值，只要準確測量p2 和p1 壓力值，即可確定流導比C1/C2的值。通過選擇限流小孔的大小，使C1/C2的值約為10-3。當上游室中的壓力在10-1～10 Pa 范圍內(nèi)時，校準室中的壓力在10-4～10-2 Pa 范圍內(nèi)。