皮拉尼真空規(guī)是電鏡中的一個(gè)重要部件。真空系統(tǒng)真空狀態(tài)的檢測(cè)及抽真空程序的自動(dòng)控制都要靠它提供的各檢測(cè)點(diǎn)的訊息來(lái)實(shí)現(xiàn)。它如損壞勢(shì)必影響儀器的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。我室飛利浦EM400裝了英國(guó)產(chǎn)Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼規(guī)。它是一個(gè)金屬的開(kāi)口管，與玻璃制品結(jié)構(gòu)不同，國(guó)內(nèi)沒(méi)有生產(chǎn)，亦很難買(mǎi)到，無(wú)處修理。其價(jià)格亦較貴。我們將它打開(kāi)后，發(fā)現(xiàn)它很容易修復(fù)，修復(fù)后的皮拉尼規(guī)已使用半年多，性能很好。

       它利用電熱絲的電阻溫度特性和溫度隨壓強(qiáng)變化關(guān)系，將壓強(qiáng)變換為電阻測(cè)量。如圖3-9所示。用電橋測(cè)出待測(cè)電阻。圖中Rx 為電阻式規(guī)管，接入待測(cè)真空系統(tǒng)。R為與Rx結(jié)構(gòu)相同的補(bǔ)償管，用來(lái)抵消環(huán)境溫度的影響。Ro用于調(diào)節(jié)零點(diǎn)，即調(diào)電橋平衡。

圖3-9 電阻式真空規(guī)