儲氣罐和維持泵的選擇與作用

2008-10-13 admin 真空技術網整理

    由于擴散泵和油增壓泵起動時間長,在周期性操作的設備中,當裝料和卸料的時候,為了縮短工作周期而不切斷擴散泵和油增壓泵的電源,將高真空閥和前級管道閥關閉,使主泵處于正常工作狀態。由于閥門等總會有極少量的漏氣和表面放氣,經過一段時間主泵出口壓強增加,若超過主泵的最大排氣壓強而返流到泵中,則會使油蒸氣氧化。

    為了解決這個問題,一個辦法是用前級泵繼續抽除主泵排出的氣體,但此時主泵內排出的氣體量很小,出現前級泵大馬拉小車的現象。浪費許多能源。為此可采用另一種辦法,停止前級泵工作,關閉前級管道閥門,在主泵出口處設置維持泵或儲氣罐,這就可以保證即能排出主泵內的氣體,又可以節省能源消耗。儲氣罐不能作得很大,它只能用在以擴散泵為主泵的小型系統上,而維持泵可用在大型主泵的系統上。儲氣罐的另一個作用是某些較小應用設備,在其工藝過程中不允許有振動,即在工藝進行時必須停止前級泵的工作,這時要用儲氣罐來儲存在工藝過程中主泵所排出的氣體,以保證工藝過程中被處理工件的質量。

    用于防振目的而設置儲氣罐的容積的計算是根據在機械泵停止工作這段時間里,擴散泵從真空室中排出的氣體全部排到儲氣罐中,引起罐中壓強增高不超過擴散泵出口的最大排氣壓強來計算的。

    用于節能和縮短工作周期為目的的儲氣罐的容積,其計算辦法基于如下考慮:當前級泵停止工作時,而擴散泵仍處于正常工作狀態,這時擴散泵將氣體排到儲氣罐中。此時氣體來源是擴散泵入口上的高真空閥門到擴散泵出口的前級管道閥之區間的漏氣流量和這一區間的表面放氣流量,這些氣流量引起擴散泵出口壓強增高,但不能超過擴散泵的最大排氣壓強。

    使用維持泵的目的是節能,它設置在油蒸氣流泵的出口處,一般與前級機械泵并聯。通常維持泵與前級泵是同一類型的泵。經驗表明,維持泵的抽速大小可以是前級泵抽速的十分之一。可見使用維持泵即能大量節約能源,又能減小環境噪音。