金屬材料半成品及成品高溫退火是提高材料性能及使用可靠性的一道重要工序。而在高真空狀態退火有避免氧化、脫碳和去氣、脫脂的作用，除了鋼、銅及其合金，還廣泛應用于鈦、鉭、鉬、鈮、鋯等與氣體親和力較強的稀有金屬。為了提高稀有金屬的性能，防止高溫氧化，滿足現代生產的需要，筆者設計制造了箔材真空退火爐，用于在高真空狀態下對金屬箔材、板材等進行高溫退火處理，還適用于鋼、銅及其合金生產企業及高校實驗室、科研單位等。

1、箔材真空退火爐設備的主要技術參數

　　（1）有效均溫區尺寸/mm×mm：Ф1000×3000
　　（2）加熱區最高溫度/℃：1050
　　（3）工作溫度/℃：950
　　（4）均溫區控溫精度/℃：±1
　　（5）爐溫均勻性/℃：±5
　　（6）極限真空度/Pa：1.33×10^-3
　　（7）工作真空度/Pa：1.33×10^-2
　　（8）壓升率/Pa·h-1：0.67
　　（9）空爐抽空時間/min：≤30 （連續生產時由大氣壓抽至工作真空狀態）
　　（10）加熱功率/kW：420
　　（11）加熱電源空載電壓/V：70
　　（12）加熱區布置：三區+兩端補償+5 區自動溫度控制
　　（13）空爐升溫時間：從室溫升到950 ℃≤3 h
　　（14）氬氣保護強制循環冷卻時間：從工作溫度950 ℃降到80 ℃時間≤6h
　　（15）壓縮空氣壓力/MPa：0.4～0.6
　　（16）額定裝爐量（每爐）/kg：1000

2、箔材真空退火爐設備的構成

　　高溫高真空熱處理爐是現代冶金技術、現代真空爐技術和計算機與微電子技術進步的產物。箔材真空退火爐是應用金屬電熱輻射的原理， 對難熔金屬、鈦及鈦合金等材料進行高溫真空退火處理。本設備主要由液壓自動送料裝置、真空系統、真空爐室、電加熱器、內循環風冷系統、水冷系統及全自動測溫控溫電控系統等組成。設備結構簡圖如圖1所示。

圖1 鉑材真空退火爐結構簡圖

3、主要解決的技術難點

3.1、液壓自動送料裝置

　　通常情況下，熱處理爐的送料裝置由于在爐內受熱，同時要求保證真空度，其材料要求全部采用耐熱鋼，如0Cr18Ni9、1Cr18Ni9Ti等，造價昂貴，成本高。而本設備采用液壓自動送料裝置，解決了高溫退火中送料車長期受熱變形，影響傳動和真空密封的問題。本裝置采用了由爐外料臺、爐內支撐系統、液壓送料車、矯形底架和矯形壓板組成的裝出料系統。送料車始終處于爐外冷態，不在爐內受熱，全部采用普通碳素鋼（Q235）制作，造價低廉，節約資金。同時減少了真空室內的放氣物體，有效地縮短了抽空時間，提高了設備的真空度。

　　液壓送料車配有微型液壓升降系統和自動行走驅動裝置，主要用于裝料和出料。考慮到生產工藝要求，對箔材（0.2～0.5 mm）高溫狀態進行校型處理，保證其表面平整度，設備配備了專用的矯形底架和兩塊矯形壓板，如圖2 所示，均采用耐高溫鑄鋼件。而考慮到爐內支撐系統由于長期高溫狀態承載，均選用耐熱鋼0Cr25Ni20 制作。

圖2 矯形底架結構簡圖

　　正常工作時，將需要處理的料放置在矯形底架上，由液壓千斤頂將矯形底架升起，液壓送料車由電機驅動，沿爐外固定料臺和爐內軌道移動將料送到爐內， 液壓千斤頂下降將矯形底架放到爐內支撐架上后，液壓送料車沿軌道退出爐外。

3.2、真空系統全自動化控制、監測

　　在真空爐的生產中經常會出現材料被氧化，特別是鈦材、鉬材等有色金屬，高溫狀態下易發生氧化，出現發藍、發黃等現象，嚴重影響材料的性能。而真空系統主要是為了除氣，保持必要的工作真空度，防止高溫時物料被氧化。本設備配置K-800高真空油擴散泵+ZJ-1200羅茨泵+H-150滑閥泵的真空機組兩套及配置帶有啟閉信號的氣動閥門，見圖3。

圖3 真空系統簡圖

　　真空系統由數字式真空計全量程測量、觸摸屏式顯視、自動切換和控制系統真空，并采用DMR2100無紙記錄儀做全程紀錄和數據儲存。真空系統所有動作均具有聯鎖保護功能，聯鎖要求：真空系統主閥未關閉，充氣閥打不開；充氣閥未關閉，真空系統主閥打不開。真空系統實現了全自動化，有效提高了工作效率，保障了生產和安全。