烘烤為實現(xiàn)超高真空范圍 (<10^-8 hPa) 內(nèi)的壓力，必須滿足以下條件：

　　真空泵的極限真空度應(yīng)該低于所需極限壓力的10 倍。

　　真空室和部件所使用的材料必須針對最小出氣量進行優(yōu)化，并且具有適當?shù)谋砻嫣幚淼燃墶?/p>

　　應(yīng)該使用金屬密封件(例如，CF法蘭連接或 ISO 法蘭標準的 Helicoflex 密封件)。

　　清潔工作是超高真空所必須，即：所有部件必須在安裝前徹底清潔并必須佩帶無油脂手套進行安裝。

　　設(shè)備和高真空泵必須進行烘烤。

　　在啟動加熱器之前，必須避免并排除泄漏。為此，必須使用氦氣檢漏儀或四極桿質(zhì)譜儀。

　　烘烤顯著增加解吸率和擴散率，而且這會導(dǎo)致抽吸時間大大縮短。作為制造工藝的最后一個步驟，UHV 用途的腔室可在溫度高達 900 °C 時進行退化。后續(xù)烘烤溫 可能達到300 °C。泵制造商有關(guān)高真空泵法蘭最高烘烤溫度的說明通常將作業(yè)中的最高溫度限制為 120 °C。如果在真空設(shè)備中使用熱源(例如，輻射加熱)，則不得超過允許的輻射功率。

　　設(shè)備在安裝完畢后投入運行。在達到 10^-5 hPa 的壓力后，開啟加熱器。在加熱過程中，以 10 小時的間隔對真空計進行操作并脫氣。如果使用具有適當表面處理等級的不銹鋼容器和金屬密封件，120°C 的烘烤溫度和約 48 小時的加熱時間足以達到 10^{- 10} hPa 的壓力范圍。

　　烘烤應(yīng)該持續(xù)，直至達到預(yù)期極限壓力的 100 倍。然后關(guān)閉泵和真空室的加熱器。在冷卻后，很可能會實現(xiàn)所需的極限壓力。在壓力低于 5 · 10^-10 hPa 且內(nèi)表面積較大時，將有利于使用氣體結(jié)合泵(鈦升華泵)，該泵以高體積流量抽出從金屬中逸出的氫氣。