超高真空比對校準系統的指標測試與模擬校準
超高真空系統極限真空度的測試
動態法超高真空比對校準系統裝置開機工作正常后，首先對校準裝置進行烘烤除氣，從室溫開始加熱，以30 ℃/h 升溫，10 h 后超高真空系統的烘烤溫度升為300 ℃；打開NEG 泵角閥，激活NEG 泵（激活溫度為500 ℃，激活時間2 h），然后關閉NEG 泵角閥。在300 ℃的溫度下維持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降溫，10 h 后降到室溫；打開NEG 泵角閥對校準容器抽氣，校準裝置的真空度穩定后測得極限真空度為4.9×10-9 Pa。
超高真空系統校準范圍的測試
用超高真空微調閥（15）調節穩壓室中的壓力，注入到校準室中，每個量程選擇3個校準點，觀測微調閥是否能夠調出所要求校準范圍的壓力點。壓力點的讀數采用經校準過的IE514 型分離規，數據見表1。
表1 校準范圍調節讀數表
從數據可以看出，能夠滿足校準范圍的調節，超高真空微調閥的行程和均勻性都非常好，可在校準范圍內調節所需的任一壓力校準點。
合成標準不確定度的評定
參考規選用IE514 型分離規，經超高/極高真空校準裝置校準的合成標準不確定度為2.5%。本底引入的不確定度為1.8%，統計不確定度為0.54%，則合成標準不確定度為3.2%，擴展不確定度9.6%（k=3）。
模擬校準
在動態法超高真空比對校準系統上，用分離規作參考標準對超高熱陰極電離真空計進行比對模擬校準，主要驗證微調閥的行程和穩定性，以及是否能夠滿足實際的超高真空規的校準。具體在每個量程按3 個校準點進行校準，共校準3 個量程9 個點，完全能夠覆蓋該裝置的校準范圍，校準數據見表2。
表2 模擬校準數據
超高真空相對比對校準裝置，可以用于超高真空規的動態直接比對校準，結束過去用線性外推法進行超高真空規的校準，能夠確保國防科技工業在超高真空區域真空量值的傳遞和統一。
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