制氧/微電子系統用真空泵油的選型

2008-10-30 劍氣書生 真空技術網整理

　　全氟聚醚油，英文簡稱PFPE。它由碳、氧、氟原子組成，屬于耐腐蝕性氣體真空泵油分類中的ISO-6743A—1987\DVB、DVD、DVF類油品.該真空泵油碳氫鍵中的氫原子全部為氟原子取代,由其分子結構特點決定，具有絕佳的熱穩定性、化學惰性、不燃性。當受到電子或離子轟擊時，不產生聚合物，不與活性氣體反應，具有優良的氧化安定性，熱穩定性、化學試劑的惰性和不燃性。具有優良的抗臭氧、能夠在VF6、F、PH3、AsH3及其它鹵素化合物（BF3、BCI、PCI3、TiCI4、SnCI4、 SiCI4）等酸性氣體存在的環境中保持穩定。甚至在高溫下也有一定的抗腐蝕作用。與常規的真空泵油比較可在長時期內保持優良的性能。

　　該類真空泵油為無色透明的液體，密度較大(可達1.95g/cm3 ,20℃時) 、粘度指數高、表面張力低、折射率低、傾點低。可用于有制氧系統和有腐蝕氣體的半導體系統和強輻射的場合。

　　國外的品牌如：意大利蒙特迪生Fomblin oil的YL-VAC、YH-VAC；法國阿爾卡特Alcatel 113；英國愛德華公司Krytox 1506、1514、1525；Fomblin 06/6、16/6、25/6；德國Leybold HE-1200、HE-1600、HE-2700；日本真空R-90、R-95油等。國內生產全氟聚醚油目前有重慶一坪，長城石化。

表16.15  全氟聚醚油的典型理化性能指標 (據Fomblin®資料)

項目

質量指標

YL-VAC

YH-VAC

06/6

14/6

25/5

18/8

25/9

蒸汽壓/kPa
20℃
100℃
150℃
200℃

 

2.5×10-9
3.9×10-4
9.1×10-3
7.7×10-2

 

—
—
—
—

 

—
—
—
—

 

10.6×10-10
1.3×10-5

3.0×10-2

 

10.6×10-11
10.6×10-7

2.7×10-3

運動粘度/(mm2/s)
20℃
100℃
150℃
200℃

 

58
15
4
—

 

130
32
7.4
—

 

260
60
12
—

 

190
—
9
2.0

 

285
—
12
2.6

密度(20℃)/ g/cm3

1.88

1.89

1.90

1.89

1.90

傾點/℃

-50

-40

-35

-42

-35

粘度指數

—

70

110

—

—

斜率

—

0.65

0.07

—

—

比熱容/[J/(g·℃)]

1.00

1.00

1.00

1.00

1.00

熱導率(20~150℃)/[W/(m·K)]

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

(8.8±0.4)
×106

粘均相對分子質量

1800

2450

3250

2850

3400

蒸發熱(1.3KPa，200℃)/(J/g)

46.05

—

—

37.68

29.31

餾分范圍(10%~90%，53Pa)/℃

157~186

—

—

—

—

沸點(13Pa)/℃

155

—

—

200~230

210~240

揮發度(22h，145.9℃)(%)(質量分數)

2.6

—

—

—

—

表面張力(25℃)/(N/m)

1.9×10-6

2.0×10-2

2.0×10-2

2.0×10-2

2.0×10-2

折射率(n020)

1.2928

—

—

1.2992

—

自燃點/℃

無

無

無

無

無

閃點/℃

無

無

無

無

無

燃點/℃

無

無

無

無

無

外觀

無透明

無透明

無透明

無透明

無透明

用途:FomblinYL- VAC06/6 (相當于VG22)，主要用于潤滑渦輪分子泵軸承FomblinYL -VAC014/6 （相當于VG46）、YL- VAC25/5(相當于VG100)，可用于超凈和安全的真空系統，如掃描發射電子顯微鏡、質普儀、粒子加速器、有腐蝕性氣體的微電子真空系統。FomblinYH-VAC 18/8、25/9主要用作擴散泵工作液。