全氟聚醚油(PFPE)分子鏈飽和，不含氫元素，化學性能特別穩定，抗強氧化劑，與氧相容，不可燃，耐強酸、強堿等化學物質，高溫性能穩定，并具有極低的蒸發速率和良好的潤滑性能。不僅安全， 且使用壽命長。

         半導體工業在芯片加工過程中必須使用一些特殊的氣體與某些具有毒性的強氧化劑，因而要求在工藝加工過程中廣泛使用的真空泵具有非常優越的適應性，PFPE因其優異性能而得到廣泛使用。尤其在消除火災或爆炸的危險隱患等方面更是性能卓越。

         全世界對環境保護的要求越來越高。如何處理在真空泵的維修和使用過程中所產生的廢油是擺在所有公司面前的一大難題。傳統的處理方式是將回收的廢油送至當地廢油處理廠焚燒。但PFPE是無法燃燒的。也就是說，簡單處理使用過的PFPE油會造成永久的環境污染。

         杜邦公司全氟聚醚廢油再造利用的所有環節和生產程序，都是建立在杜邦公司作為原始PFPE真空泵油制造商的技能和經驗基礎之上。所有再造工作均在美國新澤西州的Deepwater制造工廠完成。基于多年的專業經驗，杜邦公司PFPE真空泵油的再造生產過程，包括中和，過濾，脫氣，精餾，氟化再造以及精制等步驟，其中氟化再造是關鍵性的步驟，并輔以完善的分析測試手段包括氣相色譜，紅外色譜，原子吸收光譜等方法來實時跟蹤，分析并監控有關酸度，粘度，蒸氣壓等關鍵性的指標，以確保再造生產的PFPE再造油性能指標與新生產的PFP油完全一致，并且保證在實際操作過程中性能完全等同，工藝工程的最優化及完全閉式循環等的特點, 使得再造收率達95～98%。

         杜邦公司是一家能夠做到上述高效、高質，再造利用PFPE油的唯一制造商。

         除此以外，上述再造工程中，所有過濾，精制等程序所產生的廢棄物均嚴格按照美國相應的法規來處理，并嚴格按照相關的程序，以利于環境保護。再造利用方案，對于客戶有如下顯著優點：

（1）為客戶收集廢油無償提供包裝桶；

（2）節省了處置廢油的費用和時間；

（3）由于再生油的重新使用，節省了操作運行成本費用；

（4）由于廢油的安全和合法處置，實現了環保目的；

（5）確保再生利用的油達到原產品的標準；

（6）杜邦公司將在整個操作過程中提供技術支持。

         鑒于此，國外幾乎所有的真空泵制造商和半導體芯片制造廠均采納此方案。收集所有用過的PFPE油，得到當地杜邦公司和其經銷商的支持和服務。再生利用，實現環保，并降低成本。

         中國半導體工業發展迅速，環保要求不斷提高。半導體業廢油處理的環保問題已引起芯片制造廠及相關者的高度重視。目前，杜邦中國公司及其授權的經銷商已在中國成功地建立了此項目的完善服務體系。一方面，把收集的PFPE廢油100% 送至美國杜邦公司新澤西工廠進行再造利用，使中國國內相關企業同樣得此再造利用方案的六大好處；另一方面，為中國的環保事業作出貢獻。

        注：本文系杜邦中國集團有限公司委托發布的產品軟文。具體產品信息請致電杜邦公司。