密封器件壓氦和預充氦細檢漏判定漏率合格的條件

薛大同¹ 肖祥正¹ 王庚林²

(1.蘭州空間技術物理研究所真空低溫技術與物理國家級重點實驗室;2. 北京市科通電子繼電器總廠)

　　摘要：密封器件的氦質譜細檢漏技術分壓氦法(即背壓法)和預充氦法兩種。由于密封器件氦質譜細檢漏技術的特殊性，同一個測量漏率所對應的可能是小漏孔，也可能是大漏孔。

　　對于壓氦法，公認的先細檢再粗檢方法受最長候檢時間的限制，過短不利于表面吸附氦氣的凈化，過長可能造成漏檢。

　　預充氦法的優點是可用于檢測壓氦法檢測不到的小漏孔。然而，用戶復檢預充氦密封器件的漏率時，候檢時間往往已很長，其中可能存在的大漏孔會處于分子流狀態，因而不能靠粗檢法鑒別，而單純靠壓氦法復檢加粗檢，又發揮不出預充氦法的優點。

　　本文改進了預充氦法大小漏孔均在分子流范圍時的鑒別方法：

　　(1)提出候檢時間存在兩個特征點，一個是保證大漏率可以靠粗檢法鑒別的最長候檢時間，一個是保證任務允許的最大測量漏率不超過測量漏率～等效標準漏率關系曲線極大值點的最長候檢時間。采用我們提出的檢測方法，即使候檢時間超過了這兩個特征點時間，仍有可能判斷漏率是否合格，并在漏率合格時給出被檢器件的等效標準漏率;

　　(2)預充氦密封器件氦質譜細檢時經常會輔以壓氦法復檢加粗檢，我們對壓氦法復檢加粗檢賦于了一項更重要的職能，即主要用于判斷被檢器件等效標準漏率是否超過預充氦法測量漏率～等效標準漏率關系曲線極大值點。然后分別各種情況對漏率合格的被檢器件或者用壓氦法公式，或者用預充氦法公式確定其等效標準漏率。

　　這樣做，充分發揮了預充氦法可用于檢測壓氦法檢測不到的小漏孔這一優點，有利于保證航天密封器件的長壽命、高可靠。