各種真空泵的工作范圍

2013-04-29 巴德純 東北大學

真空獲得的方法可分成以下三類。

　　(1)利用機械力的真空泵;

　　(2)利用蒸汽噴射的真空泵;

　　(3)利用表面現象的真空泵。

　　這些泵的工作范圍如圖1所示。

各種真空泵的工作范圍

圖1 各種真空泵的工作范圍

　　各種泵可能達到的壓力和抽速是組成真空系統所必須的。

　　另外，欲獲得高的真空度，適當的使用多臺泵是必要的。

　　超高真空狀態的實現單用泵來抽是不行的，表面吸附的氣體要烘烤除氣或放電情況是必要的。

　　極高真空的獲得要使用低溫泵，對于真空容器的材料的選擇和內壁的處理是必不可少的。