磁控直流輝光等離子體放電特性

2010-03-19 萬樹德 中國科學技術大學近代物理系

  利用自制實驗教學用的磁控直流輝光等離子體實驗裝置,如圖1所示1,為我校理學院二年級學生開設研究性的實驗課。旨在培養學生從事科學實驗研究的動手能力。我們采取在學生初步掌握該實驗裝置放電方法后,由學生自己調研確定研究課題,這樣每組同學的實驗研究內容都不相同,基本上集中在下列幾方面:

  1、最佳的放電條件探索,內容包括:探索起輝電壓與氣體壓強之間的關系;中心截面徑向不同位置電子密度隨氣體壓強之間的關系。

  2、直流輝光等離子體放電特性,內容包括:等離子體參數與氣體壓強的關系;在不同的壓強下放電電子密度的空間分布;

  3、磁場對等離子體約束效果研究,內容包括:磁場對等離子體空間分布的影響--不同位置電子密度與約束磁場強度之間的關系。

實驗裝置:

  實驗裝置如圖1所示,有一個半徑 R=15cm 球形玻璃泡制成的真空放電室,在真空室內相對安裝兩只半徑為2.5cm 的圓形平板電極,在裝置兩端放置兩只磁場線圈,一臺抽速為 2L/s 的機械泵為系統真空抽氣,極限真空度為 0.6pa,通過針閥充入Ar氣,壓強在0.6-300pa 之間可調,靜電探針診斷測量系統布置在垂直的中心截面上,并可徑向移動。

  兩只磁場線圈串聯連接,由同一個電源供電。通過改變相互之間的接線方式來改變磁場位形。如果線圈供電電流由兩只線圈同名端入,磁場位形如圖2a 所示,通過改變流經線圈電流的大小中心磁場強度可在 0-1kGz 之間可調; 如果電流由兩只線圈異名端入,磁場位形如圖 2b所示。

實驗內容:

1、探索系統最佳的放電條件:

  為了確定運行控制參數范圍,做了以下兩個實驗:Ar 氣起輝實驗:在不同氣體壓強下,改變放電壓直至起輝放電,并記錄最低的起輝電壓,因此可以得到該裝置起輝電壓隨氣體壓強變化關系,以便得到獲取等離子體最佳氣體壓強條件;在不同位置測量電子密度與氣體壓強之間的關系:在穩定放電的情況下,固定放電電壓,給靜電探針加 50V 電壓,調節氣體壓強直至放電終止。在不同氣壓下記錄靜電探針電流,該電流為電子飽和流,它的大小代表了電子密度的大小,從而得到電子密度(電子飽和流)與氣體壓強的關系;

2、電子密度的徑向分布:

  穩定放電情況下,在各種不同的氣體壓強條件下,用靜電探針在不同徑向位置測量電子飽和流,從而得到電子密度(電子飽和流)的徑向分布。

3.電子密度隨約束磁場強度的改變:

  磁場線圈電流由同名端接入,改變線圈電流的大小,用靜電探針在不同的徑向位置測量電子飽和流,從而得到電子密度(電子飽和流)隨約束磁場強度的變化。 磁場線圈電流由異名端接入,改變線圈電流的大小,用靜電探針在不同的徑向位置測量電子飽和流,從而得到電子密度(電子飽和流)隨約束磁場強度的變化。

實驗結果

  圖3為起輝電壓與氣體壓強之間的關系,壓強為 10pa 時起輝電壓為330V,氣壓較低時,起輝電壓比較高,隨著氣壓的上升,起輝電壓逐漸下降,當氣壓上升到34pa起輝電壓降至不到100  V 為最低,隨后起輝電壓又隨著氣壓的上升而升高;

  圖4在不同空間位置電子密度與氣體壓強之間的關系,在氣體壓強較低時,電子密度較低,隨著氣壓的上升,電子密度逐漸上升,氣壓上升到 34pa時電子密度上升至最高,隨后電子密度又隨著氣壓的升高而下降; 圖 4 是在裝置放電起輝之后,把放電壓固定在 280V,改變氣壓而得到的實驗結果,與圖3有明顯的對應關系, 34pa起輝電壓最低,而在相同的放電壓下在該壓強下可以獲得最高的電子密度,表明此時放電最強烈,也就是說該磁控直流輝光等離子體實驗裝置最佳放電條件為34pa。

  圖5 為在穩定放電情況下,氣體壓強分別為 36、22、4pa 時,電子密度 ne的徑向分布,氣壓高時中心電子密度最高,隨著半徑的增加電子密度逐漸下降,邊緣電子密度最低;氣壓較低時中心電子密度已不是最高了,密度最高處略偏離中心,隨后隨著半徑的增加電子密度逐漸下降,邊緣電子密度最低;氣壓降至 4pa 時,電子密度幾乎降低一個數量級,而邊緣電子密度保持原數值不變。氣壓高時空間放電的范圍小,氣壓低時空間放電的范圍大,這是因為氣壓高時中性粒子密度高,電子與中性粒子的碰撞頻率高,電子擴散范圍小;氣壓低時中性粒子密度低,電子與中性粒子的碰撞頻率低,電子擴散范圍大之故。

  圖6所示在穩定放電的情況下,外加圖 2a 位形約束磁場,在不同的徑向位置上測得電子密度 ne 隨約束磁感應強度 B 的變化曲線。中心電子密度隨磁場增加而增加,邊緣電子密度隨磁場增加而減小。

  圖7所示在穩定放電的情況下,外加圖2b位形約束磁場,在不同的徑向位置上測得電子密度 ne 隨約束磁感應強度B的變化曲線。中心電子密度隨磁場增加而減小,邊緣電子密度隨磁場增加而增加。

  帶電粒子在磁場中受洛倫茲力的作用,圍繞磁力線作螺旋運動,帶電粒子在垂直磁場方向受到約束,即帶電粒子不能橫向穿越磁場運動。磁場位形為圖2a時,放電空間限制在以半徑為 2.5cm 兩圓電極為鼓面,以與兩電極邊緣相切的磁力線所構成的腰鼓形空間之中。隨磁場強度的增加約束效果會增強,因此中心密度隨磁場強度的增加而增加,邊緣密度隨磁場強度的增加而減小。

  磁場位形為圖2b時, 帶電粒子被磁力線引導到實驗裝置中垂面的邊緣,因此中垂面上中心密度隨磁場強度的增加而減小,邊緣密度隨磁場強度的增加而增加。雖然中心密度隨磁場強度的增加而減小,但不會為零,原因有二:

  1 放電特性不僅與磁場有關還與放電電場有關,帶電粒子還會沿軸向電場運動,因此中心電子密度不會為零;

  2 如圖2b會切磁場,會切中心的磁場最小,帶電粒子沿磁力線作螺旋運動時,磁場弱的方向帶電粒子的旋轉半徑大,帶電粒子沿磁場方向運動的同時,整體還會向會切中心漂移,帶電粒子一旦到達會切中心就很難逃離該磁阱2。

結論

  1.在該磁控直流輝光等離子體實驗裝置上,用 Ar 氣放電獲得直流輝光等離子體存在最佳放電壓強 34pa,在此壓強下起輝電壓最低,同時可以獲得電子密度最高的等離子體;

  2.電子密度的空間分布隨氣體壓強的不同而發生改變,密度中心隨壓強降低逐漸向外擴展,隨中性粒子密度的減小,電子與中性粒子碰撞機會減小,碰撞頻率減小,等離子體擴散范圍大;

  3.隨磁場強度的增加約束效果會增強,因此中心密度隨磁場強度的增加而增加,邊緣密度隨磁場強度的增加而減小。

  4.中心電子密度隨磁場的增加而減小, 邊緣電子密度隨磁場的增加開始稍有減小而后迅速增加。

  3 和4 條說明在放電條件不變的條件下,約束磁場的作用并不能使等離子體參數得到整體提高,只會影響等離子體得空間分布。