一種鈣鈦礦結構薄膜材料復數光學常數的反演

　　吳春華^1* 邱家穩² 許 旻¹ 張佰森¹ 王潔冰¹ 李 林¹ 趙印中¹ 左華平¹

　　1.蘭州空間技術物理研究所表面工程技術重點實驗室；2.中國空間技術研究院研究發展中心

　　摘要 為了獲得一種鈣鈦礦結構鑭鍶錳氧La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜材料的復數光學常數，利用光學薄膜原理和數學優化方法，并基于鈣鈦礦結構材料的色散模型，對磁控濺射技術制備的不同厚度的鑭鍶錳氧薄膜在波數400～1250 cm^-1 范圍內的反射光譜進行了全譜擬合，并由擬合參數確定了薄膜的復數光學常數。

　　擬合結果顯示，測試光譜和擬合光譜具有高度的一致，說明了此色散模型及全光譜擬合法在確定La_0.8Sr_0.2MnO₃薄膜復數光學常數的有效性和精確性。

　　關鍵詞 La_0.8Sr_0.2MnO₃ 薄膜 光學常數 光譜擬合 數學優化