隔膜式真空閥是利用閥桿將橡膠隔膜直接壓在閥座上，用來截止或接通氣流。它常裝在被抽真空容器與各種低真空泵之間。典型的隔膜式真空閥結(jié)構(gòu)圖如圖1所示。

圖1 隔膜式真空閥

1—手輪；2—閥桿螺母；3—閥桿；4—閥芯； 5—閥蓋；6—隔膜；7—閥體

　　隔膜式真空閥的動作原理是旋轉(zhuǎn)手柄使閥桿向下運(yùn)動，將橡膠隔膜直接壓在閥座上，截止氣流。反方向旋轉(zhuǎn)手輪，閥桿向上運(yùn)動，帶動橡膠隔膜離開閥座，接通氣流。

　　閥門主體采用鋁合金鑄造。結(jié)構(gòu)簡單、質(zhì)量輕、體積小，密封性能良好。采用丁腈橡膠的隔膜真空閥，用于前級和預(yù)抽低真空管道上及溫度-25～80℃的非腐蝕性氣體。采用氟橡膠的隔膜真空閥，可用于高真空系統(tǒng)，使用溫度范圍為-30～150℃。